射頻電源維修

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   射頻電源維修常州凌科自動化科維修品牌：美國AE 、ENI（MKS） 、RFPP、ADL 、COMDEL 、ADTEC 、SEREN 、 HUTTINGER。技術人員有AE公司八年以上工作經驗，累計維修電源和匹配器約2000臺，有MKS原廠工作十年的資深工程師。公司維修所采用的零部件等材料均為原裝進口。公司服務宗旨是：“精益求精，品質”。維修快可以當天完成，公司提供更長的質保期和更優質的保修服務。

   射頻電源維修常見維修產品及故障現象：      
    1.觸摸屏、人機界面、控制面板 
    常見故障現象有：通電不顯示、觸摸屏不靈、觸摸后鼠標跑偏、面板按鍵無反應、觸摸表面碎裂、花屏、白屏、閃屏及程序等故障維修； 
    2.伺服驅動器 
    常見故障現象有：驅動器報警、無顯示、缺相、過流、過壓、欠壓、過熱、過載、接地故障、參數錯誤、有顯示無輸出、編碼器報警、模塊損壞等； 
    3.伺服電機(伺服馬達) 
    常見故障現象有：1.電機上電、機械振蕩(加／減速時) 2.電機上電、機械運動異常快速(飛車) 3.主軸不能定向移動或定向移動不到位 4.出現NC錯誤報警 5.伺服系統報警 6.編碼器報警 7.電機卡死等； 
    4.工業電腦、工控主機 
    常見故障現象有：開不了機、上電后不工作、開機進不了系統、開機后自動重啟或頻繁重啟、開機跳過系統介面滾動條會黑屏、藍屏、自動重啟或關機； 
    5.變頻器 
    常見故障現象有：整流模塊損壞、逆變模塊損壞、上電無顯示、顯示過電壓或欠電壓、顯示過電流或接地短路、電源與驅動板啟動顯示過電流、空載輸出電壓正常、帶載后顯示過載或過電流. 

射頻（英語：Radio frequency，縮寫為RF），又稱無線電頻率、無線射頻、高周波，為在3 kHz至300 GHz這個范圍內的震蕩頻率，這個頻率相當于無線電波的頻率，以及攜帶著無線電信號的交流電的頻率。RF通常被用來指電子震蕩，而不被用在機械震蕩上，然而機械射頻系統仍然是存在的（如機械過濾器與射頻微機電系統）。
雖然射頻在定義上是用來指一種頻率，但在日常使用中，常被用來當成無線電的同義詞，以利描述無線通訊系統，如射頻識別。
在國際電信聯盟定義的無線電頻率劃分當中：
甚低頻（VLF）：3~30千赫（KHz）
低頻（LF）：30~300千赫（KHz）
中頻（MF）：300~3000千赫（KHz）
高頻（HF）：3~30兆赫（MHz）
甚高頻（VHF）：30~300兆赫（MHz）
特高頻（UHF）：300~3000兆赫（MHz）
超高頻（SHF）：3~30吉赫（GHz）
極高頻（EHF）：30~300吉赫（GHz）

射頻電源故障現象4：有Ua，Ia很大。
原因及解決辦法：
Ug1無激勵。

射頻電源安裝與調試
1. 電子管的安裝
打開機箱上蓋，將電子管垂直向下插入管座，插到底，然后順時針旋轉大約60度（有限位），套上接線卡子，將螺釘旋緊一些，再蓋上機箱的上蓋。
注意用手拿電子管時，不能碰
陶瓷部位，以免手上汗跡沾在陶瓷
部位降低管子的耐壓。
2. 接線
如圖，注意射頻電纜接頭要旋
緊，電纜彎曲盡量自然一些。
3. 電源的檢查
在未正式與設備連調之前，或在工作過程中有異常，比如不起輝、
不穩定、反向功率大等，可單獨檢查電源。
方法：用假負載替代真實負載，接通電源→開啟開關→當紅色小燈亮后→“Ua調節”旋鈕逆時針調到頭→按下“Ua—ON”開關→順時針調Ua到200伏（此時各表頭均有指示）→調匹配器（反復調）使反射功率*小，如果這時Ua、

Ia、功率都正常，則可認為電源工作正常。Ua×Ia×80%≈入射功率。
4. 起輝
在確認射頻源正常后，即可接上真實負載進行調試。
再次起輝時，可將Ua調到400~500V，如果未起輝，反射功率會很大，調節耦合和調諧旋鈕使之起輝，暫且先不管反射功率有多大。如果不起輝，可降低真空度。磁控濺射真空度可降到數Pa。真空度低些容易起輝。如還不起輝，

可采取短時間加大功率的方法。比如Ua加到700V，如果不起輝，馬上把Ua降一點，再調一下匹配器電容，再略加高Ua，如此重復進行，直到起輝為止。即：
如果再不起輝，應檢查反應室及接線部分是否有問題。
起輝后，調匹配器之電容使反射功率減小直到接近零。
如果起輝時真空度較低，起輝后可逐漸提高真空度.
5. 加功率
在起輝正常后，可提高功率，這里要注意的是，在初次起輝時，可能由于反應或工作氣體不干凈，設計上欠合理等因素而使反應室內打火，這種情況功率不能提高。第二，在正常工作時，通常靶上所加功率為5~10W/cm2,極限功

率約為20 W/cm2，所加功率不要超過極限值，否則會燒毀靶。
6. 幾個參考數據
射頻功率源駐波比≤1.5
磁控濺射功率密度5～10 W/cm2
磁控濺射壓強0.5～數Pa
自偏壓:100V～500V（自偏壓與真空度、功率密度、磁控強度、靶材等有關）
7. 幾種故障的判斷
在正常工作時，如果發生跳閘現象，則直流供電部分出現故障。
Ua突然變大時，電子管損壞的可能性大。
有Ua無Ia時，驅動板有故障或高頻插頭接觸不佳。
射頻功率源及其它儀表的安裝
射頻功率源通常用于和等離子設備配套，該設備除主機及射頻源以外，還有其它真空儀表，如質量流量計、真空計、分子泵、溫控儀表、微機等，如果安裝不合理，射頻源會干擾這些真空儀表。
1) 射頻源的安裝：要將匹配器的機箱與真空室盡可能靠近，匹配器安裝在機柜內的，要將機柜與真空室盡可能靠近，能直接與真空室或工作臺接觸*好，如無法接觸，要用紡織線以*短的距離將它們連接起來（功率較大的射頻源

已與真空室接觸好）。
2) 其它儀表的安裝：a.測量線、控制線要用屏蔽線；b.電源輸入要加電源濾波器；c.質量流量計的控制盒與真空室的連接，如可能的話，用絕緣管道。
3) 從真空室里引到真空室外的導線，如照明線、加專線、測量控制線及其它電極的引線，在真空室內耦合有很強的射頻信號，在引出真空室后，要加電容濾波，去掉射頻信號，濾波電容要用耐壓高一些的云母電容或CBB電容有

時要用高功率瓷介電容。