勻膠機（中國半導體行業十大標志性品牌）

臺式勻膠機
中國半導體行業十大標志性品牌產品
華尊獎（中國行業標志性品牌推選活動組委會)

MINGAO現生產銷售KW-4A型旋轉鍍膜機。其價格便宜、體積小巧、使用方便，是一款膜層精密均勻鍍覆的理想產品。其防滑、防震、便攜的設計，使其成為實驗室中高級科研設備。

勻膠機簡述：

型號：KW-4A

勻膠機又稱甩膠機、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、真空鍍膜機，其總體由在國際上SOL-GEI技術領先的香港銘奧技術公司(HK MINGAO  TECHNOLOGY, INC) 設計完成。其主要關鍵元器件由美國進口，整機裝配由深圳銘奧公司安裝調試完成。該機2009年已通過CE認證，其抗干擾以及干擾性都較其他非CE產品要好。該性能的具體表現為：當該勻膠機在運轉時，它不影響同處一室的其他設備，以保證其他設備的正常使用（如指針不漂移等受干擾后有影響的反應）；同時它本身也不會受到其他同處一室的設備運轉而產生的磁場的干擾。從而保證實驗效果的穩定性和可靠性。另外由于本公司采取了一些特殊的工藝手段，保證了轉盤轉動時平穩性，從而保證了制備出來的膜層厚度均勻性。上述證明凱美特公司的勻膠機能使實驗具有良好的重復性、一致性、穩定性。由于銘奧公司從2009年以來一直從事于溶膠-凝膠（SOL-GEL）技術、工藝、及設備的研究、開發。公司根據對這技術和工藝的深刻了解所研發出的薄膜制備設備系列十多年來以優良的品質及良好的售后服務暢銷中國、歐美、新加坡、韓國、日本以及臺灣地區等經濟和科技發達國家和地區。

KW—4A型勻膠機適用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光學及表面涂覆等工藝，主要應用于溶膠-凝膠（sol-gel）實驗中的薄膜制作，其工作原理是高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。

兩級鍍膜工藝
該工藝允許在低速和高速下鍍覆。KW-4A型旋轉鍍膜機可對多種基片（包括新型可旋鍍SPI Supplies氮化硅薄膜窗和多窗陣列）進行金屬氧化物、高分子和有機薄膜的鍍覆。鍍膜機的轉速越高，鍍膜越薄。
其他實用信息：
理論上，最大基片的對角線長為9"(229mm)。通常，KW-4A所用最大標準尺寸

本機具有以下特點：

 1．電機勵磁和電樞分開供電。勵磁用12伏直流穩壓電源供電，電樞用運放控制IRF830調速，它比可控硅調速優越，故其轉速在500—8000轉/分范圍內非常穩定。

2．本勻膠機有兩檔轉速。在啟動之后，先以低速運轉，然后自動變到高速運轉。兩檔速度及運行時間分別可調。

3．本勻膠機采用光電檢測，數字電路測速，對電機的轉速檢測快速準確。電機穩速方面采用了光電隔離的精密負反饋電路，使整機在高達8000RPM以上轉速時仍十分穩定，有力的保證了勻膠質量。

4．“吸片”采用電子開關控制電磁閥完成氣路通斷，這樣適合流水線工藝，一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作，提高效率。

5．勻膠機定時采用可調定時電路控制，面板上調節Timer旋鈕即可改變勻膠時間。

6．在安裝結構上，采取了減震措施，因而勻膠機在運轉時噪音很低。

7．電磁閥與電機運行有連鎖功能，電磁閥未動作不能啟動電機運行，本次勻膠電機未停不能進行下次勻膠，若運行中誤按“CONTROL”鍵也不能停止吸氣，即不會產生跑片。

 

由于采用了以上一系列措施，故本機具有很高的轉速穩定性和快速啟動性，可以保證涂覆表面均勻，并可通過調節轉速調節涂覆厚度。

技術指標：本機具有兩級轉速

SpeedⅠ調速范圍 500—2000轉/分

TimerⅠ勻膠時間 3—18秒

SpeedⅡ轉速范圍 1000—8000轉/分

TimerⅡ勻膠時間 3—60秒

轉速穩定度 ±1%

電源電壓（二種） 220v/ 50Hz或110v /50Hz

電機功率 40W

被鍍物質尺寸 Φ8—Φ150mm

真空泵抽氣速率 ≥60升/分

儀器尺寸：220×240×260 mm

毛重：6.8 Kg

體積緊湊：
KW-4A型勻膠機深10"(25.4cm)，寬8.5"(21.5cm)，高8.5"(21.5cm)，重15磅(6.8kg)。對工作空間不足的用戶來說，該款精致的產品非常理想。裝運尺寸：17"(43.2cm)x14"(35.6cm)x11"(27.9cm)；裝運重量：20磅(9.1kg).

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