掃描電鏡主動減振系統WVIB-JZX-1000掃描電鏡減振臺青島浩正

WVIB-JZX-1000主動減振系統

儀器名稱：主動減振系統、

儀器型號：WVIB-JZX-1000

中國區：青島浩正科儀智能技術有限公司

一、用途

解決振動尤其是低頻振動對電鏡圖像造成干擾的問題。

二、工作環境條件

2.1 環境溫度/濕度：5～40℃/20%～80% R.H

2.2 供電電源：交流電源220V±10%,50Hz

2.3 地線要求：需安全接地線

三、技術指標：

3.1 減振平臺安裝尺寸（長×寬×高）：1130×902×200（mm）（可以根據不同電鏡定制），減振平臺重量：190kg；

3.2 主動減振帶寬：：0.5Hz至100Hz；

3.3 產生磁場強度：≤0.3mGpkpk；

3.4 靜息時間：300ms；

3.5 平臺負載重量：300kg至1500kg；

3.6 減振效果：從0.5Hz開始有減振效果；到2Hz，水平和垂直兩個方向均達到-20dB的衰減（90%衰減）；

3.7 控制自由度：6；

※3.8控制方式：含前饋的雙重主動控制；

3.9執行單元：直線電機；

3.10 推力常數：80N/Amp；

※3.11壓縮空氣：不需要；

3.12 安裝/調試：由專業研發工程師現場針對性安裝、調試；

3.13 適用機型：用于SEM、FIB、Dual Beam機臺等。

四、配置清單

4.1 臺式減振平臺，1臺

4.2 減振控制器，1個

4.3 傳感器電纜線（帶25芯D型插頭），1根

4.4 電機電纜線（帶37芯D型插頭），1根

4.5 控制器電源線（3芯），1根

五、技術資料

中文產品說明書1套。

六、技術支持和服務要求

6.1提供送貨上門服務，貨物到達用戶現場后，在收到用戶通知后7天內派遣合格的技術人員前往用戶現場進行安裝調試，按驗收指標逐項測試，直至達到驗收要求。設備安裝調試需在接到用戶通知后15日內完成。

6.2在安裝驗收期間，在現場對用戶進行免費培訓，培訓內容包括：工作原理，設備結構，儀器操作（包括控制器操作、面板操作、常見故障原因及排除），主要部件用途和日常維護保養等。承諾至少培訓一位用戶能完全獨立操作、使用設備。

6.3保修期：保修期一年，自設備驗收合格之日起計算。質保期內對所供設備實行包修、包換、包退、包維護保養。在質保期后，保證長期提供零備件和優質維修服務，保修期后設備維修配件更換只收取配件和人工成本費用。