半導體真空設備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質量流量控制器

半導體真空設備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質量流量控制器 

• 可用量程：0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
• 可調比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
• 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
• 可重復性：0.2%滿量程
• 標準控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）
• 氣動閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（值，氦氣）
• 無需預熱時間

工作條件

• 兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 內部壓力（靜態）：145 psig（160 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

半導體真空設備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質量流量控制器 MCV系列包裝清單：

• MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉換線纜
• BB3和BB9多點式集線盒
• Flow Vision軟件