日本科賦樂3665標準質(zhì)量流量控制器 科賦樂流量控制器，主要結(jié)構(gòu)緊湊，成本低廉。
從大學和研究機構(gòu)的研發(fā)應(yīng)用中，我們作為各種分析儀器和真空設(shè)備的標準模型取得了許多成就，我們有各種衍生模型和選項。

• 配備流量傳感器，采用改進的恒流溫差檢測方法，實現(xiàn)高速響應(yīng)
• 采用常閉閥門，方向操作安全
• 通過電磁執(zhí)行器確保高可靠性
• 燃氣控制的低壓差規(guī)格（LP選項：僅限3660）

標準規(guī)格   日本科賦樂3665標準質(zhì)量流量控制器 科賦樂流量控制器

模型		3660	3665
流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）		10SCCM~20SLM（可選）	30SLM~100SLM（可選）
傳感器方式		熱繞組傳感器
閥門方法		比例螺線管閥門（未通電時關(guān)閉）
控制范圍（* 1）		2~100％（F.S.）	5~100％（F.S.）
響應(yīng)速度		在2秒內(nèi) （在±2％F.S.內(nèi)）	在3秒內(nèi) （在±2％F.S.內(nèi)）
準確性		±1.0％F.S.（25°C）	±1.5％F.S.（25°C）
溫度系數(shù)		±0.1％F.S./°C（15~35°C）	±0.2％F.S./°C（15~35°C）
再現(xiàn)性		±0.5%F.S.
操作壓差		F.S.≤5SLM 50~300 kPa（G）	F.S.≤50SLM 150~300 kPa（G）
		F. S.> 5 SLM 100~300 kPa（G）	F. S.> 50 SLM 200~300 kPa（G）
		可選：中壓差壓規(guī)格（MP），低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造
壓力（* 1）		980kPa（G）
He泄漏率（* 2）		1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度		5~45℃
允許環(huán)境濕度		10~90%RH（無結(jié)露）
氣體接觸材料		主體SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼
		閥座FKM（選件CR或NBR）
		密封材料FKM（選件CR或NBR）
電氣連接		Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準）
流量設(shè)定 輸入信號		0~5VDC （輸入阻抗1MΩ以上）
流量輸出信號		0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上）
所需電源		+15 VDC（±5％）100 mA，。15 VDC（±5％）250 mA
接頭 （體型）		標準1 / 4F900 （9 / 16.18 UNF） 選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等	標準3 / 8F 900 （9 / 16.18 UNF） 選項1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等
重量		約1000g	約1500g

（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

警告

流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa，次級側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件，請另行咨詢。

尺寸圖   日本科賦樂3665標準質(zhì)量流量控制器 科賦樂流量控制器