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| Unit | DAU-20 | |||
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L/min | 20/23(50 / 60Hz ) | ||
| Ultimate pressure 到達壓力 |
Pa | 200 | ||
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AC100V, 1ф, 80W, 4P | |||
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A | 1.46 | ||
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Kg | 7.5 | ||
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㎜ | O.D ф 10 ×I.D ф 6（Rc 1 / 8） | ||
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㎜ | O.D ф 10 ×I.D ф 6（Rc 1 / 8） | ||
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℃ | 5～40 | ||
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㎜ | 161（W）×327(L) ×218（H） |
ULVAC真空泵（日本愛發科真空泵）部分產品如下：
膜片式：DA-40S DA-60S DA-41D DA-81S DA-60D DA-120S DAT-50D
DAT-100S DAP-12S DA-121D DAP-6D DAP-15 DAP-30 DA-30D
DA-20D DA-241S DA-121D DA-30S DAL-181D DAL-361S
高真空式：DAU-20 DAU-100 MD4UNT DAU-20 DAM-010 MD8
回旋翼式：DSB-151 DSB-251 DSB-451 DSB-601
活塞式：DOP-40D DOP-80S DOP-300SA DOP-80SP DOP-420SA
耐腐蝕式：
DTC-22 DTC-41 DTC-60 DTU-20 MD4UCNT MD8C
漩渦式：DIS-501 DIS-90 DIS-251 DISL-100 DISL-500 DISL-101 DISL-502
ULVAC真空泵（日本愛發科真空泵）油旋片式真空泵
Mini式： G-10DA G-20DA G-50DA G-100D G-5
G-25SA G-50SA G-101S G-5DA G-101D
標準式：
GLD-136C GLD-040 GLD-136A GLD-201A GLD-201B
GHD-030 GLD-280A GHD-031 GLD-051 GLS-051
耐腐蝕式：
GCD-051X GCD-136X GCD-201X
羅茨式：PKS-016 MBS-052 PKS-030 PKS-070
