華東激光刻阻機_激光調阻器_激光微調設備

SET3/1064/532/355，SFT3：激光微調機/激光修阻機/激光調阻機/激光刻阻機　

激光調阻機的成功研制對推動我國微電子行業(yè)的產業(yè)升級起到重要作用。激光調阻機是利用激光技術對厚、薄膜電路進行修調，以得到高精度的電阻值或精準的輸出信號。公司生產的激光調阻機全部擁有自主知識產權，采用高質量的激光源和精密的測量系統，空氣懸浮平面運動機構，各項性能指標達到先進水平，是取代進口產品之首選.

SET507系列技術參數:

1.激光器系統
激光波長：532nm/355nm
激光平均功率：7W
典型光斑尺寸： 15μm±3μm
實際切口取決于材料、光學器件和波長
冷卻方式：風冷
對焦方式：計算機程序控制
2．激光束定位系統
激光束運動范圍：50mm X 50mm
重復定位精度：2μm
定位精度：±5μm
激光束最小步進：0.76μm
3．分步重復機械運動系統
運動方式：空氣懸浮運動，無摩擦力
運動范圍：290mm*260mm
最大陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根據要求定做）
運動分辨率：1μm
重復精度：2μm
定位精度：±15μm
最大運動速度：500mm/s
4．測量系統
激勵方式：電流激勵
恒流源：0.01μA~100mA計算機程控選擇
電阻測量方式：四線制加電流測電壓（可選擇二線制）
直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）
電阻測量精度：低阻：<0.05%+0.5%/R  （R<100Ω）    
              中阻：<0.05%
              高阻：<0.05%+0.5%R（R>0.1MΩ）
電阻測量范圍： 0.1Ω-10MΩ
電阻測量速度：25μs
直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下）
探針板運動：計算機程序控制
5．計算機及軟件系統
工業(yè)控制計算機（雙核），19寸液晶
操作系統：Windows XP
軟件可編程，界面友好，功能強大
軟件系統可免費升級和進行功能擴展
6．圖像監(jiān)視系統
監(jiān)視方式：激光同軸監(jiān)視
監(jiān)視視場：2-3mm（對角線）
顯示屏：19寸液晶
7．其它技術指標
供電電壓：220V AC
整機功耗：1200W

激光器的選擇：
針對被修調電阻材料特性，選擇合適波長的激光器，可提升切割效果，對于金屬薄膜電阻，一般采用532um或355nm短波長激光可達到理想效果，有些金屬薄膜電阻也可以采用

應用和市場：

主要應用于厚、薄膜電路的精密調節(jié)。廣泛應用于厚膜混合集成電路，電子元器件，汽車電器，傳感器，軍工科研，片式電阻行業(yè)等。