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全氟橡膠(Perfluoroelastomer)
優(yōu)點(diǎn)：
· 佳耐熱特性
· 優(yōu)異的抗化學(xué)特性
· 低Outgassing 特性
· 優(yōu)異之抗Plasma特性
缺點(diǎn)：
· 耐低溫特性較差
· 原料價(jià)格較高
· 生產(chǎn)難度較高
· 全氟系列產(chǎn)品廣泛地運(yùn)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及信息相關(guān)產(chǎn)業(yè)所運(yùn)用, 運(yùn)用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。
O形圈規(guī)格及標(biāo)準(zhǔn)
O形圈規(guī)格型號主要有UHSO形圈規(guī)格，UHPO形圈規(guī)格，UNO形圈規(guī)格，DHO形圈規(guī)格，活塞桿O形圈規(guī)格，耐高溫O形圈，耐高壓O形圈，耐腐蝕O形圈，耐磨損O形圈。
O形圈的標(biāo)準(zhǔn)主要有國標(biāo)GB 1235-76，國標(biāo)GB3452.1-92；日標(biāo)P TYPE，G TYPE，S TYPE，SS/V TYPE，F TYPE；美標(biāo)AS568，英標(biāo)系列；歐標(biāo)系列
O型圈技術(shù)要求包括外觀要求、尺寸要求和材料物理性能要求。
外觀要求符合GB/T3452.2-2007
材料要求符合HG/T2579-2008
尺寸要求符合GB/T3452.1-2005
