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6、 裝配有電磁閥、流量計、開關的氣體導入裝置可選購進行搭載。可使用氮氣、氧氣、氬氣等惰性氣體。通過異常監視功能報錯,配有安全功能即使在無人的狀態下也可以使用。
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