臺灣TBI滾珠絲桿的導程精度是1980年制成了JIS標準，1987年進行了部分訂正，規定了
（1）累計代表移動量誤差
（2）相對絲杠部分有效長度的zui大幅度
（3）任意300mm的zui大幅度
（4）任意一圈轉動的zui大幅度等共4個特性。
雖然臺灣TBI滾珠絲桿要求的功能是螺母的進給精度，但一般對軸單體的導程精度進行測量的情況比較多。導程精度分為廣范圍和狹范圍，相對來說，廣范圍精度因為加工精度好和容易補正的原因，很少出現問題。今后為了應對高精度化的需要，狹范圍精度會越發重要。
圖2是zui高精度C0級的導程誤差的一個示例。累計代表移動量誤差是1μm/208mm，相對絲杠部分有效長度的zui大幅度是2μm，螺母組裝狀態的zui大幅度不超過0.9μm，是規格值的1/2以下。
誤差變動的特征成分是溝道磨床中軸的1圈轉動的成分（12mm周期），雖然單體是1～1.5μm，但因為螺母組裝后的平均化效果會減少到0.5μm以下。一般相比單體的狹范圍的誤差，螺母組裝后有1/2到1/3的減少。
導程精度即使周期不一樣，均會出現軸的旋轉同期成分。滾動要素中由于會出現滾動體的自轉/公轉所產生的非同期成分，在超精密的領域會成為主要問題。原因在于滾道面的粗糙度、真圓度、滾動體外徑之間的相互差、真球度不良等，更有循環機構引起的滾動體在出入過程中引起的振動問題。根據塚田等1)的報告，在一個移動誤差在0.4～0.5μm的平臺上，將原本使用的TBI滾珠絲桿使用保持架或者合成樹脂的間隔鋼球，移動誤差將會降低至0.1μm以下。鋼球通過成分不單會通過振動的形式出現，還會通過扭矩變動的形式出現，這容易引起電機輸出扭矩的移動誤差。
即使導程精度是高精度的，如果不正確進行安裝，定位精度也會變差。1987年的JIS訂正中，認識到了TBI滾珠絲桿安裝部精度的重要性，因此規格值比以前變更的更為嚴格，并且今后會有更加嚴格的趨勢。
如果臺灣TBI滾珠絲桿、軸承和引導機構的同心度差，就容易出現旋轉跳動的誤差，容易和導程誤差混淆。
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