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廠家簡單介紹一下氟膠O型圈的一些基本信息
氟橡膠O型圈簡介
FPM
(Fluoro Carbon Rubber) 分子內含氟之橡膠,依氟含量 ( 即單體構造 ) 而有各種類型。目前廣用的六氟化系氟橡膠最早由杜邦公司以 ”Viton” 商品名上市。耐高溫性優于硅橡膠,有極佳的耐化學性、耐大部分油及溶劑 ( 酮、酯類除外 ) 、耐候性及耐臭氧性;耐寒性則較不良,一般使用溫度范圍為 -20~250 ℃。特殊配方可耐低溫至 -40 ℃。
(Perfluoroelastomer) 優點:
· 最佳耐熱特性
· 優異的抗化學特性
· 低Outgassing 特性
· 優異之抗Plasma特性
缺點:
· 耐低溫特性較差
· 原料價格較高
· 生產難度較高
適用范圍:
· 全氟系列產品廣泛地運用于半導體產業及信息相關產業所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。
硅氟橡膠
FLS
(Fluorinated Silicone Rubber) 硅氟橡膠為硅橡膠經氟化處理,其一般性能兼具有氟橡膠及硅橡膠的優點;其耐油、耐溶劑、耐燃料油及耐高低溫性均佳,一般使用溫度為 -50~200 ℃。
(FFKM)O型圈
全氟醚橡膠是由TFE(主鏈)、PMVE(支鏈)及架橋部所構成,它不僅具有像PTFE一樣優異耐高溫,耐化學腐蝕的性能(可耐1600余種化學品的腐蝕),還兼備了橡膠的彈性,其在300℃時的壓縮變形率也僅在50%以下。普通全氟橡膠工作溫度范圍為-25℃~+240℃間,Kalrez7075耐高溫可達327℃,即使當暴露在316℃的恒溫中或像343℃這樣的間歇高溫環境中,Kalrez制作也不會發生導致密封失效的硬化和脆化,Kalrez在與侵蝕性流體的浸漬直接接觸中依然能保持其彈力和回彈性能。事實上,Kalrez的熱穩定性往往超過了那些流體本身。全氟橡膠還具有優異的氣密性(耐真空度可達1.33X10-7-1.33X10-8pa)和高潔凈性以及耐離子體性,這些特點在半導體行業的應用也非常廣泛.
氟橡膠(FKM,FPM)分子式
(一) 分子結構
CF3
—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) A—Type
CF3
—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) (CF2—CF2 ) B—Type/ F —Type
CF3
—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) (CF2—CF2 )CSM G—Type
OCF3
—(CF2—CF ) ( CH2—CH2) (CF2—CF2 ) ETP
—(CF2—CF2 )( CH2—CH) TFE/P
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C H3
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