特征

• 熱物理性質顯微鏡是測量熱滲透率的裝置，熱滲透率是熱物理性質值之一。
• 它是一種可以通過點，線和表面來測量樣品的熱性能的設備。
• 還可以測量微米級的熱物理性質分布，這在常規的熱物理性質測量裝置中被認為是困難的。
• 它是世界上第一款能夠進行非接觸式高分辨率熱性能測量的設備。
• 利用檢測到的3μm的光斑直徑，可以在高分辨率的微小區域中測量熱物理性質（點/線/表面測量）。
• 由于可以通過改變深度范圍進行測量，因此可以測量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
• 您也可以測量基材上的樣品。
• 激光非接觸式測量。
• 可以檢測薄膜下的裂縫，空隙和剝離。