日本atomax在半導體制造領域使用Atmax噴嘴AM型

精密涂層

由于可以精確地霧化和噴射少量液體，因此可以在半導體和電子元件制造過程中通過噴涂形成薄膜。
與其他噴涂系統相比，噴涂易于控制，設備配置也很簡單。特點是從厚涂層到薄涂層，一個噴嘴的條件范圍很廣。

精密設備清洗工作

由于粒徑分布很銳利，因此適合需要精確度的精確清潔。Atmax噴嘴的沖擊較小，注入流速較慢，因為霧化所需的壓縮氣體流量比常規噴嘴的流量小。

使用獨特的液體劑進行涂層工作

有兩個主要組成部分。標準噴嘴材料是SUS316L，因為它具有非常簡單的組件結構，但是也可以使用適合使用環境的材料來制造。此外，在接液部件中沒有使用O形圈。

使用細顆粒的加工工作

可以容易地連續注入包含固體的漿液。為了通過噴霧獲得霧化，從小孔口噴射是公認的理論，但是Atmax噴嘴能夠霧化大直徑的噴射。