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日本horiba非接觸式化學濃度監(jiān)測儀CS-900
為了在半導體制造過程中遵守嚴格的化學濃度控制，我們實現了滿足現場需求的z佳功能，例如穩(wěn)定的測量精度，考慮到工作安全性的獨特管道固定結構以及緊湊的設計。
外部直接連接到PFA管道的獨特傳感器結構消除了污染的風險。此外，它消除了安裝傳感器時的管道工作需求，并消除了化學泄漏等事故的風險。此外，通過更新傳感器的光學系統(tǒng)，我們實現了小型化，同時保持了與常規(guī)產品（CS-600F * 1）相同的可重復性和穩(wěn)定性。
高質量和穩(wěn)定的測量
抑制振動效果
節(jié)省空間
延長光源壽命
改善工作安全
* 1 CS-600F是HORIBA的光纖型化學濃度監(jiān)測儀。
■穩(wěn)定性
測量條件
測量周期：每3秒測量時間：1小時
移動平均值：16次溫度：室溫管徑：3/4英寸
樣品濃度（在測量開始時）
NH 3：0.95％H 2 O 2：5.15％H 2 O ：93.9％
測量結果作為
樣品（實際溶液）的1小時的測量結果，顯示出良好的穩(wěn)定性。
日本horiba非接觸式化學濃度監(jiān)測儀CS-900
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產品名稱 |
非接觸式化學濃度監(jiān)測儀CS-900 |
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模型 |
CS-900 |
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測量原理 |
吸收光譜 |
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濃度計算方法 |
溫度補償多元分析方法 |
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測量范圍/ |
型號名稱 |
成分名稱 |
測量范圍 |
重現精度 |
模擬量輸出范圍 |
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CS-900-1P-1P25P5 |
NH 3 |
0.00％-1.20％ |
±0.05％ |
0.00-10.00 |
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H 2 O 2 |
0.00％-5.50％ |
±0.10％ |
0.00-10.00 |
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高氧2 |
93.3％-100.0％ |
±1.0％ |
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CS-900-1P-P8P8 |
NH 3 |
0.20％-0.80％ |
±0.03％ |
0.00-1.00 |
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H 2 O 2 |
0.20％-0.80％ |
±0.03％ |
0.00-1.00 |
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高氧2 |
98.4％-99.6％ |
±0.3％ |
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測量條件 |
1）測量周期：大約3秒 |
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管道* 1 |
PFA管道1英寸或3/4英寸 |
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樣品溶液條件* 2 |
化學溶液溫度：20-80°C化學 |
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電源供應 |
DC24V |
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消耗功率* 3 |
約30W |
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大眾 |
顯示：約0.9Kg |
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外形尺寸（寬x深x高） |
顯示：96 x 135 x 96 mm |
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傳感器單元安裝角度 |
前后方向：±3度以內，左右方向：0-90度 |
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光源壽命 |
5年 |
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通訊 |
并行I / O，RS-232C，模擬輸出 |
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