hakuto 離子刻蝕機(jī)運(yùn)用于 PDMS 軟刻蝕用母模板研究

產(chǎn)品價(jià)格：	11/人民幣
最后更新：	2020-12-21 16:16:09
產(chǎn)品產(chǎn)地：	日本
發(fā)貨地：	本地至全國(guó) (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長(zhǎng)期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	115

公司基本資料信息

伯東企業(yè)(上海)有限公司
羅先生
會(huì)員[試用會(huì)員產(chǎn)品]
郵件marketing@hakuto-vacuum.cn
手機(jī)15201951076
電話
傳真
地址上海市浦東新區(qū)新金橋路1888號(hào)36號(hào)樓7樓702室 201206

產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明

hakuto 離子刻蝕機(jī)運(yùn)用于 PDMS 軟刻蝕用母模板研究

西南某高校在 PDMS 軟刻蝕用母模板研究中有采用到伯東 Hakuto 離子蝕刻機(jī) 7.5IBE .

Hakuto 離子蝕刻機(jī) 7.5IBE 技術(shù)規(guī)格:

真空腔	1 set, 主體不銹鋼,水冷
基片尺寸	1 set, 4”/6”? Stage, 直接冷卻,
離子源	? 8cm 考夫曼離子源 KDC75
離子束入射角	0 Degree～± 90 Degree
極限真空	≦1x10-4 Pa
刻蝕性能	一致性: ≤±5% across 4”

該 Hakuto 離子刻蝕機(jī) 7.5IBE 的核心構(gòu)件離子源是配伯東公司代理美國(guó)考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 75

伯東美國(guó) KRI 考夫曼離子源 KDC75 技術(shù)參數(shù)：

離子源型號(hào)	離子源 KDC 75
Discharge	DC 熱離子
離子束流	>250 mA
離子動(dòng)能	100-1200 V
柵極直徑	7.5 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	2-15 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長(zhǎng)度	20.1 cm
直徑	14 cm
中和器	燈絲

采用伯東 Hakuto 離子刻蝕機(jī) 7.5IBE 刻蝕加工軟刻蝕母模板具有操作步驟簡(jiǎn)單, 制備周期短的特點(diǎn), 是一種有效的制備軟刻蝕母模板的設(shè)備

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺(tái)灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                   M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!

在線詢盤/留言 請(qǐng)仔細(xì)填寫準(zhǔn)確及時(shí)的聯(lián)系到你!

您的姓名：	您的姓名沒(méi)有寫*	預(yù)計(jì)需求數(shù)量：	* 請(qǐng)輸入整數(shù) 請(qǐng)?zhí)顚憯?shù)量
聯(lián)系手機(jī)：	*	移動(dòng)電話或傳真：
電子郵件：	*郵箱格式不正確請(qǐng)?zhí)顚懩愕碾娮余]件	所在單位：
咨詢內(nèi)容：	我想了解：《hakuto 離子刻蝕機(jī)運(yùn)用于 PDMS 軟刻蝕用母模板研究》的詳細(xì)信息.請(qǐng)商家盡快與我聯(lián)系。 *

更多..本企業(yè)其它產(chǎn)品

機(jī)電之家網(wǎng) - 機(jī)電行業(yè)權(quán)威網(wǎng)絡(luò)宣傳媒體

網(wǎng)站經(jīng)營(yíng)許可證:浙B2-20080178-4