名稱/產(chǎn)品名稱

熱物理顯微鏡/熱顯微鏡

測量方式

熱物理性質(zhì)分布測量（1維，2維，1點）

測量項目

熱滲透率，（熱擴散率），（熱導率）

檢測光斑直徑

約3μm

1點測量標準時間

10秒

待測薄膜

厚度從幾百納米到幾十微米

重復精度

耐熱玻璃，硅的熱滲透率小于±10％

樣品

1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm
2.板狀樣品30mm x 30mm以內(nèi)，厚度3mm以內(nèi)

• 需要對樣品表面進行鏡面拋光。
• 樣品表面需要進行Mo濺射。

工作溫度極限

24°C±1°C（根據(jù)設(shè)備中內(nèi)置的溫度傳感器）

平臺移動距離

? X軸方向20mm
? Y軸方向20mm
? Z軸方向10mm

加熱激光

半導體激光波長：808nm

檢測激光

半導體激光波長：658nm

電源

交流100V 1.5kVA

標準配件

樣品架，參考樣品

選項

光學壓盤，空調(diào)，空調(diào)房，飛濺裝置