Pro Surf大視場(chǎng)3D輪廓儀德國(guó)Polytec

Pro Surf大視場(chǎng)3D輪廓儀德國(guó)Polytec
吳經(jīng)理：132.4667.5433

簡(jiǎn)介：
Pro.Surf大視場(chǎng)3D輪廓儀
   TopMap Pro.Surf系列產(chǎn)品，基于白光干涉原理，以最前沿的CSI與Corelogram相結(jié)合的CST技術(shù)為核心，是一款特點(diǎn)的光學(xué)3D輪廓儀。TopMap Pro.Surf系列光學(xué)3D輪廓儀集非接觸、大視場(chǎng)、納米級(jí)精度和70mm超大掃描范圍等技術(shù)特點(diǎn)于一身，能夠滿足從光滑到粗糙表面、從極深色、超低反射率到全反射表面等幾乎所有表面輪廓的測(cè)量，此外還能夠提供基于ISO25178/1101/4287/13565/21920/12781和ASME B46等標(biāo)準(zhǔn)的多種參數(shù)分析與評(píng)價(jià)，如粗糙度、平面度、臺(tái)階高度、平行度、波紋度等，廣泛應(yīng)用于汽車工業(yè)、燃油噴射系統(tǒng)、傳動(dòng)、密封、光學(xué)加工、精密半導(dǎo)體及3C行業(yè)和航天、航空、國(guó)防軍工和科研院所等領(lǐng)域。
典型應(yīng)用：
半導(dǎo)體：襯底、外延片平坦度和形貌測(cè)量，精密器件及傳感器
汽車行業(yè)：空氣懸掛組件，精密傳動(dòng)組件，燃油噴射系統(tǒng)，高壓油泵
密封行業(yè)：精密密封表面、泵閥類密封組件
表面工程：摩擦學(xué)，涂層厚度，形變分析
3C電子：電子元件平整度，引腳位置，屏幕平面度、厚度均勻性，印刷電路
手表：組件平面度、臺(tái)階高度、平行度、輪廓，表鏡
產(chǎn)品亮點(diǎn)：
1.45nm分辨率
單次掃描視場(chǎng)高達(dá)45x34mm，支持視場(chǎng)拼接拓展至228x221mm
橫向分辨率低至14.3微米
非接觸、垂直掃描測(cè)量模式，掃描范圍達(dá)70mm
沒有外置物鏡，無碰撞風(fēng)險(xiǎn)
磁懸浮式掃描導(dǎo)軌，無損耗
高精度：
典型平面度偏差優(yōu)于75納米
典型臺(tái)階高度偏差優(yōu)于0.026%（評(píng)估≥0.45mm臺(tái)階）
高重復(fù)性：
平面度重復(fù)性偏差優(yōu)于5納米
臺(tái)階高度重復(fù)性優(yōu)于0.011%（評(píng)估≥0.45mm臺(tái)階）
支持深孔和盲孔測(cè)量
支持隔窗測(cè)量
支持在線集成方案

德國(guó)Polytec掃描儀、激光測(cè)振儀、光學(xué)頭、光學(xué)振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)主要型號(hào)：
激光振動(dòng)計(jì)、光學(xué)測(cè)振儀
激光多普勒測(cè)振儀
激光測(cè)振計(jì)
（激光）多普勒振動(dòng)傳感器
非接觸式振動(dòng)傳感器/測(cè)量?jī)x
光學(xué)振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)
【一】單點(diǎn)式激光測(cè)振儀
CLV-2534-3激光測(cè)振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測(cè)振儀
VFX-F-110激光測(cè)振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學(xué)頭
VibroGo便攜式激光測(cè)振儀
【二】全場(chǎng)掃描式激光測(cè)振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場(chǎng)掃描式激光測(cè)振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測(cè)振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測(cè)振儀
ROBOVIB 機(jī)器人測(cè)振站
PSV-500-3D 掃描式激光測(cè)振儀：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測(cè)振儀：PSV-500-B增強(qiáng)型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點(diǎn)式激光測(cè)振儀
【三】特殊應(yīng)用激光測(cè)振儀
VibroFlex Range 超遠(yuǎn)距離激光測(cè)振儀
RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測(cè)振儀
HSV-100 高速型激光測(cè)振儀
IPV-100 面內(nèi)激光測(cè)振儀
【四】顯微式激光測(cè)振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測(cè)振儀 
MSA-600 顯微式激光測(cè)振儀 ：MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn)) MSA-600-V (帶寬擴(kuò)展)
MSA-100-3D顯微式測(cè)振儀 
MSA-050顯微式激光測(cè)振儀
【五】形貌測(cè)量?jī)x
Pro.Surf大視場(chǎng)3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀

關(guān)于 Polytec已停產(chǎn)的型號(hào)（具體停產(chǎn)時(shí)間可能因產(chǎn)品線更新而異）：
【1. 激光測(cè)振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型號(hào)，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （較老版本）
RSV-150 （遠(yuǎn)程振動(dòng)傳感系統(tǒng)，部分功能由新系統(tǒng)替代）
【2. 工業(yè)傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號(hào)，后續(xù)被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學(xué)距離傳感器）
【3. 其他光學(xué)系統(tǒng)】
PSV-300/400 （掃描式激光測(cè)振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號(hào)）