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PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
負責人:吳經理 132.4667.5433

【一】單點式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀
PSV-500 掃描式激光測振儀
MPV-800 多點式激光測振儀
【三】特殊應用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
MSA-600 顯微式激光測振儀
MSA-100-3D顯微式測振儀
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
德國SUSS MicroTec主要產品:
一、旋轉涂膠機和噴霧涂膠機:
自動涂膠機與顯影機:ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自動涂膠與顯影機:RCD8、ECD8
手動涂膠機與顯影機:LabSpin6 / LabSpin8
二、噴墨打印機
JETxSM24噴墨打印機、JETx噴墨打印機、LP50打印機
三、光刻機、掩模對準機
全自動:MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自動:MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手動:MJB4
四、測量系統
全自動:DSM8/200 Gen2
五、晶圓結合系統、自動貼片機
全自動:XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自動: BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模設備
全自動:MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自動:HMx Serie
七、投影掃描光刻機
全自動:DSC300 Gen3