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日本IWAKI易威奇氣動泵FS-N 系列吐出量達100L/min
日本IWAKI易威奇氣動泵FS-N 系列吐出量達100L/min
日本IWAKI易威奇氣動泵FS-N 系列吐出量達100L/min
高速沖程
高速沖程 (FS-80N達200 spm),讓結構緊湊、重量輕、成本低,可同時用于高流量及高壓力工況。
無污染設計
過流端采用氟樹脂無污染構造,使用獨有的軸封顯著降低顆粒的產生
高流量及高吐出壓力
最大吐出量高達0.7MPa,不僅滿足化學供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求,同時適用于清洗及CMP制程。
傳感器驅動系統
內置式開關通過傳感器驅動系統打開/關閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。
規格:
最大吐出量:100 L/min
最大吐出壓力:0.7 MPa
最大耗氣量:1495 NL/min
主要材質:PTFE, PFA
液體輸送溫度范圍:5 ~ 60 °C
