德國PFELFFER普發(fā)渦輪分子真空泵ATH 2300 MT/2303 M

德國PFELFFER普發(fā)渦輪分子真空泵ATH 2300 MT/2303 M

德國PFELFFER普發(fā)渦輪分子真空泵ATH 2300 MT/2303 M

德國PFELFFER普發(fā)渦輪分子真空泵ATH 2300 MT/2303 M

靜音:低噪音和振動水平，非常適合半導體制造工藝和分析儀器中對振動敏感的應用
靈活:與多種前級泵兼容，MT 型號帶集成加熱系統(tǒng)，可滿足要求嚴苛的化學條件，變頻直流（DC）電機
幾乎免維護:MT 型號采用磁懸浮軸承，無磨損部件，減少顆粒污染或殘留物積聚
轉(zhuǎn)速；31000 rpm
可調(diào)轉(zhuǎn)速;15000 rmp 至標稱轉(zhuǎn)速
從開始啟動到達到最終轉(zhuǎn)速的 90% 所需要的時間，排放壓力 < 0.1 mbar < 8 最小
調(diào)節(jié)器電源；200-240 V，50/60 Hz 單相
啟動時的最大功耗;1000 W
額定功率（待機功率）；130 - 380 W
加熱溫度;75 °C
烘烤溫度:120 °C
推薦冷卻水流量；60 l/h
冷卻水溫度;15 - 40 °C
遙控器類型；Magpower
推薦前級泵：ADP/ADS
聲壓級（ISO 2151）（在額定轉(zhuǎn)速下，距離設備 1 米處測量） < 47 dB(A)
額定轉(zhuǎn)速下的振動水平：< 0.01 μm
尺寸（? x H）：312 x 354.1-398.1* mm
尺寸（?）：310 mm
重量（約）：60 kg
調(diào)節(jié)器重量（約）：8.7 kg
進氣口：DN 200、DN 250
排氣口;DN 40 ISO-KF
N? 吹掃法蘭；DN 16 ISO-KF
不銹鋼進氣濾網(wǎng)（出廠設定） 是
允許的磁場強度（徑向值）（在距離設備 10 厘米處） < 12 mT < 12 mT
機載控制器控制選項 Profibus，遠程