氣體傳感器介紹
半導(dǎo)體氣體傳感器可分為電阻型和非電阻型結(jié)型、MOSFET型、電容型。電阻型氣敏器件是氣體分子引起敏感材料電阻變；非電阻型氣敏器件有Ms二極管和結(jié)型二極管以場效應(yīng)管MSFET，它利用敏感氣體會改變MOSFET開啟電壓，其與ISFET離子敏傳感器件相同。
氣體傳感器樣式
SnO2電阻型氣敏器件通常采用燒結(jié)工藝。以多孔SnO2為基底材料，再添加不同其他物質(zhì)，用制陶工藝燒結(jié)而成，燒結(jié)時埋入加熱和測量電極。此外，也蒸發(fā)和濺射等工藝制成薄膜器件和多層膜器件，這類器件靈敏度高，動態(tài)特性。
氣體傳感器類型
氣敏二極管特性曲線左移看作二極管導(dǎo)通電壓發(fā)生改變，這一特性如果發(fā)生在場效應(yīng)管柵極，將使場效應(yīng)管閾值電壓UT改變。利用這一制成MOSFET型氣敏器件。
氫氣敏MOSFET是典型氣敏器件，它用金屬鈀Pd制成鈀柵。在含有氫氣氣氛中，由于鈀催，氫氣分子成氫原子擴(kuò)散到鈀與二氧硅界面，終導(dǎo)致MOSFET閾值電壓UT發(fā)生變。時常將柵漏短接，MOSFET在飽和區(qū)，此時漏極電流ID=βUGS—UT2，利用這一電路測出氫氣濃度。
