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          2. 
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                                        微控擴散爐-廠家直銷-支持定制
          
                                          		
                            
          
                            
          
                                
                                    
          
                                        
          
                                            
          
                                                
                                                    
          
                                                        
                                                            <%=cpname%>
          
                                                          		
                                            
          
                                        
          
                                    
          
                                          		
                                
                                
                                
                                    
                                    
          
                                        
          
                                            
                                                產品價格：
                                            
                                            
                                                /人民幣 
                                            
                                        
          
                                        
          
                                            
                                                最后更新：
                                            
                                            
                                                2024-09-13 09:14:41
                                            
                                        
          
                                        
          
                                            
                                                產品產地：
                                            
                                            
                                                山東青島
                                            
                                        
          
                                        
          
                                            
                                                發貨地：
                                            
                                            
                                                山東青島 (發貨期：當天內發貨)
                                            
                                        
          
                                        
          
                                            
                                                供應數量：
                                            
                                            
                                                不限
                                            
                                        
          
                                        
          
                                            
                                                有效期：
                                            
                                            
                                                長期有效
                                            
                                        
          
                                        
          
                                            
                                                最少起訂：
                                            
                                            
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                                                詢價　　試用會員產品
                                            
                                        
          
                                    
          
                                          		
                            
          
                        
          
                              		
                    
                    
                    
                        
          
                            
        1. 公司基本資料信息
          2. 
                        
          
                            
                        
          
                              		
                    
                    
                
          
            
          
            
          
                 
          
        
          
    
          
    
          
        
          
            
          產品詳細說明
            
          
        
          
        
          
            
          擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業，對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統、控制系統、超凈化操作系統等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。
          

          
擴散爐技術指標：
          
可處理硅片尺寸：2—12英寸
          
外型形式：臥式1—4管結構
          
工作溫度：200℃—1300℃
          
恒溫區長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
          
單點溫度穩定性、重復性： ≤±1℃/24h
          
溫度斜變： 可控升溫速率15℃／min
          
可控降溫速率： 5℃／min
          
送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟
          
氣路系統：1—5路工藝氣體／管
          
氣體控制：全自動MFC
          
控制方式：工控機、觸摸屏
          

          
	
          

          
        
          
        
          
        
          
            
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