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          蘇威哈拉涂層,改性PTFE,ECTFE,ETFE,FEP,PFA半導體清洗槽設備涂層加工

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          產品價格: /人民幣 
          最后更新: 2024-06-13 14:54:10
          產品產地: 上海
          發貨地: 浦東新區 (發貨期:當天內發貨)
          供應數量: 不限
          有效期: 長期有效
          最少起訂: 1
          瀏覽次數: 67
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        2. 公司基本資料信息
          • 上海雍昌環保科技有限公司
          • 吳笛小姐 商務部
          • 會員[試用會員產品]
          • 郵件wud@micro-jw.com
          • 手機13061803373
          • 電話
          • 傳真
          • 地址上海市臨港新區偉展路175號
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          產品詳細說明

          PPB級超高純半導體防腐專用PFA ,高純PFA閥門,應用石英石晶 圓花籃,半導體清洗槽,半導體設備

          蘇威哈拉涂層,改性PTFE,ECTFE,ETFE,FEP,半導體清洗槽設備涂層加工

          超高純度 接觸晶圓的防腐材料金 屬離子含量低于PPB級, 否則會污染晶圓 優秀防腐性 需要有優秀的耐酸堿性能, 抵御各類強酸強堿,防止 腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性 高厚度和致密性,保證 研磨液/清洗液不會滲透 進入涂層接觸基體金屬 硬度及耐磨性 硬度及韌性保證部件可進 行二次加工從而保證精度, 耐磨性保證了部件的壽命 且不能過硬劃傷晶圓
          產品案例
          8/12寸晶圓花籃由于強度 載重原因,部分無法使用 超高純注塑材料,改用超 高純氧化硅/氧化鋁陶瓷材 料,但表面容易劃傷晶圓, 且接觸酸容易造成花籃腐 蝕損壞
          叉手在轉移晶圓的同時, 會造成晶圓劃傷,需要表 面進行防護,同時材料需 要有防腐性保證飛濺的酸 堿不損壞轉運臂

           純度:PPB級 
          厚度:100-800μm 
          耐酸:氫氟酸+硝酸 
          硬度:4H

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