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超純水制備工藝
1、預處理→UF系統→一級反滲透→PH調節→級間水箱→二級反滲透→中間水箱→中間水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→EDI裝置→氮封水箱→增壓水泵→拋光混床→循環增壓泵→用水對象(≥18MΩ.CM)
2、預處理→UF系統→一級反滲透→PH調節→級間水箱→二級反滲透→中間水箱→中間水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→EDI裝置→氮封水箱→供水泵→用水對象(15-17MΩ.CM)
涉及行業及領域
☆電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗
☆電子管生產、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液
☆顯像管和陰極射線管生產、配料用純水
☆黑白顯像管熒光屏生產、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水
☆液晶顯示器的生產、屏面需用純水清洗和用純水配液
☆晶體管生產中主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制
☆集成電路生產中高純水清洗硅片
☆半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路
☆LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏
☆高品質顯像管、螢光粉生產
☆晶元材料生產、加工、清洗
☆超純材料和超純化學試劑、超純化工材料
☆實驗室和中試車間
☆汽車、家電、建材產品表面涂裝等其它要求的表面處理用純水
☆光電產品、其他高科技精微產品
☆電鍍(鍍金、鍍銀、塑料電鍍、鍍鉻、鍍鋅等)用水
☆玻璃鍍膜用高純水
☆超聲波清洗用純水，電泳用純水
