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日本東麗toray半導體/液晶/電子零件等氧氣計，氧氣分析儀MS-500
| 氧化鋯濃縮池類型 |
| 分體式（轉換器：壁掛式，傳感器：直接插入式） |
| 4位數字顯示（密度顯示） |
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0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol％O 2 10 -20至10 -0 atm 自動量程 |
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在±0.5％FS 0-1％范圍內或更高 ±1％FS或± 0.1ppm中，以較大者為準小于0-1％范圍0-1ppm，atm范圍超出保證的濃度范圍 |
| 1?9?18 |
| 10 -3至200 KPa（絕對壓力） |
| 0.5至5,000 mL / min或0 mL / min（自發擴散狀態的測量） |
| 露點低于環境溫度 |
| 0-100°攝氏度 |
| 請勿包含腐蝕性氣體（氟氣，lu氣，硫化物氣等），含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 |
| 大氣層 |
| 僅變速箱輸出 |
| RS-232C |
| 沒有 |
| 6分鐘以內 |
| 92（W）×44（H）×120（D）（不包括突起） |
| 100（W）×40（H）×88（D）（不包括突起） |
| 總長100mm（感應部分Φ11×39，主體部分Φ40×51） |
| 總長100 mm（感應部分Φ11×42，主體部分Φ40×48） |
| 總長100mm（感應部分Φ11×41，主體部分Φ40×49） |
| 約0.6Kg |
| 約0.5kg |
| 約0.2Kg |
| 約0.2Kg |
| 約0.35Kg |
| 真空法蘭之一（NW16、25、40） |
| 24VDC±10％ |
