ICHOR隔膜閥CDV

常規隔膜閥（CDV）系列包括超高純版本，根據相關SEMI規范制造，具有更高的可靠性。

• 閥座設計和雙層隔膜可延長循環壽命并減少顆粒產生。
• 完全清掃潤濕路徑，以減少截留，促進吹掃，更大限度地提高Cv，同時更小化內部體積。
• 氣動執行器可在執行時快速響應。
• 手動和混合執行器指示可視的四分之一圈打開和關閉位置。
• 可根據要求提供自定義配置。