意大利BDiscom射頻電源S-AMX/S-AMN實(shí)物單賣

意大利BDiscom射頻電源S-AMX/S-AMN實(shí)物單賣

在以往的蝕刻和沉積等離子體電源實(shí)施方案中，雖然圍繞射頻功率源和匹配網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行構(gòu)建，但是僅將射頻發(fā)生器用于監(jiān)控和記錄輸送至等離子體腔的功率的基準(zhǔn)。但是，這種方法可能會(huì)帶來(lái)若干問(wèn)題 – 為了實(shí)現(xiàn)更精準(zhǔn)、更高水平的功率控制，這些問(wèn)題甚至?xí)蔀樾碌奶魬?zhàn)，其中包括功率波動(dòng)、溫度和配方組合的影響、因功率源與工具之間的距離造成的問(wèn)題、功率輸送的微調(diào)能力。

例如，如果功率源與應(yīng)用點(diǎn)有一定距離，則可能存在較大的插入損耗，從而影響實(shí)際提供的功率。理論上，應(yīng)計(jì)算出該損耗并相應(yīng)調(diào)節(jié)功率源設(shè)置。但實(shí)際上，由于特定系統(tǒng)設(shè)置，插入損耗不一定表現(xiàn)為線性方式；并且功率等級(jí)越高，越難以估算。

另外，如果使用的是舊發(fā)生器，工藝可能會(huì)因量化誤差而受到影響，即功率命令系統(tǒng)提供給用戶的固定步進(jìn)功率不一定匹配腔體所需的精準(zhǔn)的功率輸送。

上述因素正是半導(dǎo)體制造商致力于采用校準(zhǔn)設(shè)備的原因 , 為了精準(zhǔn)監(jiān)控等離子體電源。很明顯，過(guò)去幾十年的傳統(tǒng)功率傳感技術(shù)越來(lái)越難以提供最新工藝所需的功能（頻段或功率范圍、準(zhǔn)確度等級(jí)或認(rèn)證）。因此，我們迫切需要新一代更精準(zhǔn)的高度集成射頻功率測(cè)量和校準(zhǔn)系統(tǒng)。

SICK   IME08-02BNSZW2K
Balluff  BTL7-S577-M0360-B-KA05
Danfoss 3241-1DB04
AI-TEK  70085-1010-131
Balluff   BTL7-V50T-M0300-B-C003
POCLAIN  MS08-2-111-F09-2A50-1E00
 HENGSTLER  0547897
EUCHNER    門鎖開關(guān)TZIRE024PG VAB升級(jí)為TZ1RE024MVAB
IFM   IIC208
Euchner  NO1R-550型（帶滾輪）無(wú)感應(yīng)式限位開關(guān)
IPF   接近開關(guān)IN800151
Rexroth  TYP:A4FM22/32W-NSC02
MOOG  D634U524A/R40K2F0NSS2
DESTACO   8EA-030-1
IPF    傳感器 IB1201T1
DOLD  LG5925 48/61-Not-Aus-Modu-Emergency-stop module .A1(+)A2 AC/DC 24V -常開AC15/230V/3A-常閉AC15/230V/2A
STI    DT-S01S1S0
RHM1430MK101S1B8100
BUCHER    減壓閥SDRB-AR-6-SL  10-65 BAR
SUN    MBGALHN-HCY/S
IFM     光電開關(guān)IF-3004-APKG/6m 報(bào)價(jià)型號(hào)IF5350
BD  壓力傳感器DMP331-111-2001-1-3-100-300-1-000
Sampo  BB4040801110馬達(dá)
RHM0500MK101S1B8100
Rittal   加熱器SK 3105.340
HYDAC   壓力開關(guān)EDS3446- 3-0250-000  帶配套電纜2米及插頭
BAUER    電機(jī)BG30-37/DHE09XA4C-TOF-K/BR-UL-TM
ASCO  SCE238D005 220V
RHM1160OMK021S1G6100
DEMAG        進(jìn)口力矩電動(dòng)機(jī) SBS 140 B4 18N·m 380V
Honeywell  DC1020PL-302000-C
Rexroth  R900580381 PV7-1A/10-14RE01MC0-16
 PIZZATO pulsSLR10輸出：24vdc/10A
MTS   RFM02750MR021A01我們的型號(hào)：ZHRX2750SEC3-GF21DZ
ALLWEILER   油泵NTT150-400/02U5A-W4
RELECO   繼電器底座S9-M
Rittal  母牌接線器SV3456.500
RHM1720MK021S1G6100
TWK 電子式接觸器ER40-24DC-300DC-A03/24VDC
KNOLL科諾  過(guò)濾紙PW70/70-710
DESTACO迪斯泰克   8EA-123-1 感應(yīng)器
TWK  SWH2-01+CRF58*V146*C01
SICK  障礙物傳感器TIM320-1031000
PIZZTO  FD1878
RELECO    S9-M
ECKARDT   定位器SRD991-BHNS7EA4NR-V01
Honeywell RA890G1229
parker    閥026-95689-H    R5V12  695 36 09G0Q A1 210
MOOG    G771K202A
VERSA  EZM-3143-4-Z-HC-110V50-120V60
MTS RHM0150MP021S1G8100  160mm 要求精度0.0001mm
KROM   GIK 15R02-5BZ
DUNGS  煤氣電磁閥-MVD 215/5 RP11/2 60VA
RHM0610MP101S1G8100
RHM1800MP101S1G6100
ASCO   8210G034  24VDC
RHM1330MP101S1G8100
SOR  205A-A1B-B-B4-N4-ET
EGE   風(fēng)壓開關(guān)STS215S   31308
AMISCO  EVI7/9電磁閥線圈
PILZ   PNOZ s4 C 24VDC 3 n/o 1 n/c
VICKERS  C16H220/19
SOLARTRON  AS/100/G
ABB  變頻器ACS880-01-145A-3+D150
Kobold   流量開關(guān)VKM3211RRR250B  24VDC
HYDAC    壓力控制器EDS3446-3-0250-000   250bar DC24V
NORIS  10732 RF502-A2-#7000
GEMU   氣動(dòng)閥690-32D 71 412/N
德國(guó)Krom schroder    點(diǎn)火控制器 BCU480-5/3/1LW3GBD2  已停產(chǎn)，升級(jí)型號(hào) 88610638 BCU480-5/3/1LW3GBD2
CEAG   CEAG GHG 591 2201 R0003報(bào)價(jià)型號(hào) GHG5912201R0003 Ex-Plug for Zone 1/21, 10, 21-pole 250 V, 7 h, 1 cable gland
STAHL   接觸器8510/141-03-603-210   6A  24VDC升級(jí)為8510/141-03-606-210, Mat. 145751
Dynisco  TPT4634-35MPA-6/18
burkert   電磁閥訂貨號(hào)：00134345已經(jīng)停產(chǎn)了 221871
MTS  RHM0450MP101S1G6100
DOLD  訂貨號(hào)0063989 BG5924.48 24VDC
MTS  位移傳感器
Burster  壓力傳感器8524-5500-S000S000
Rexroth力士樂   HMS01.1N-W0054-A-07-NNNN 驅(qū)動(dòng)模塊報(bào)價(jià)訂貨號(hào)R911295325，請(qǐng)跟用戶核實(shí)，如果訂貨號(hào)不對(duì)，價(jià)格作廢
Danfoss丹佛斯 FC360變頻器0. .55KW FC360HK55T4E20H2BXCDXXSXXXXAOBX
MTS   EPS0270MD601AO
MTS  RPM1500MD601A01磁環(huán)
HYDAC  WSM60020Z-01-C-N-24DG
SCHENCK   測(cè)速傳感器 FGA 20 RSLE
Rexroth   疊加式溢流閥Z2DB10VD2-4X/200
RHM0280MK101S1B8100
WOERNER     液位開關(guān)KFA-A/F/0/N/056C/Z3N/250
SICK   光電開關(guān)WF2-40B410
SCANCON   旋轉(zhuǎn)編碼器SAG-S101G-1213-C100-CRW 電壓范圍：24V停產(chǎn)替代為31993 OCD-S1-01-G-12-13-C-100-CRW
HYDAC   6051764/100LA4/B34C200
Lika  編碼器SMSR-V-1-K-L0,3/S727
Weidmuller   繼電器RCL424024
Krom 點(diǎn)火控制器 TGI7.5-12/100W 230VAC
HYDAC   聯(lián)軸節(jié)KUPPLUNG28/38-38/24
Dynisco          TPT463E-35MPA-6-18-TC2
LINCOLN林肯   超聲波液位傳感器 BPU1-V375-L800-200
OPRU  ORCUT ES 120-MBV
MAC  電磁閥MAC 55B-24-PE-614JB PED-614JB
Hanovia  130027-2001-C
 PIZZATO pulsdimensionUB10.241DC-UPS