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課題?用途:半導(dǎo)體?電子デバイス液晶パネル組立工程基板実裝工程検査工程印刷?塗裝工程包裝?梱包樹脂成型フィルムガラスレンズホコリ?異物パーツフィーダ近距離省スペース機(jī)能
一般エアー用ノズル?窒素ガス対応ノズル?放電針など、バリエーションが豊富に準(zhǔn)備されており、掲載している以外にも多種多様な組み合わせができます。また、特殊ノズルの製作もいたしますので、営業(yè)所にお問(wèn)い合わせください。
図1 電源?信號(hào)ケーブル(2.5m)
図2 脫著可能な放電針ユニット
*放電針は交換可能です
図3 エア流量調(diào)整用ネジ
図4 変換ケーブルOZⅢ-HCB-01
図5 各除電イメージ
-N仕様品は、窒素ガス(N2)対応品です。窒素ガス仕様環(huán)境のもとでは、必ず-N仕様品をご使用ください。
◎シームレスパイプノズル
◎シリコンチューブノズル
◎バーノズル(ストレートタイプ)
◎バーノズル(角度フリーL字タイプ)
◎フラットノズル
◎テフロンチューブノズル
◎ステンレスパイプノズル
◎小型スタンダートノズル
◎エアフィッティングタイプノズル
(注1):□150mm、20pFのチャージドプレートモニターを使用して測(cè)定。
(注2):除電時(shí)間は±1000V→±100Vまでの減衰時(shí)間です。
(注3):測(cè)定距離はプレードモニターから50mmの位置です。
(注4):ノズルは弊社スタンダードノズルOZ-S使用時(shí)です。
(注1):ノズルは弊社スタンダードノズルOZ-S使用時(shí)です。
| 型式 |
ZappⅡ (標(biāo)準(zhǔn)品) |
ZappⅡ-H (大流量タイプ) |
ZappⅢ-C (流量可変タイプ) |
| 入力電源 | DC+24 V±10% | ||
| 容量 | 2.4VA | ||
| 出力電圧 | AC 約2,500 V | ||
| 使用流體 | 清浄な空気*2 | ||
| イオンバランス*1 | ±10V以下 | ±15V以下 | |
| 接続チューブ | 外徑Φ6 | ||
| 使用エア圧力*2 |
0.05~0.6MPa (ノズルにより異なります。下記の表でご確認(rèn)ください。) |
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| エア流量調(diào)整機(jī)能 | なし | あり*3 | |
| エア流量 |
40 ?/min~ 220 ?/min |
50 ?/min~ 400 ?/min |
流量調(diào)整最小時(shí) 40 ?/min~ 400 ?/min 流量調(diào)整最大時(shí) |
| オゾン発生量 | 0.05ppm以下(投入エア圧力:0.05MPa、測(cè)定距離300mm) | ||
| 使用環(huán)境 |
周囲溫度:0~40℃ 周囲濕度:~65%以下但し結(jié)露無(wú)き事 |
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アラーム出力 (ALARM) |
NPN型フォトリレー出力 コネクタ3ピン:NO コネクタ4ピン:NC 最大電流 : 100 mA 印加電圧 : 30 V DC 以下 |
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クリーニング?チェック出力 (C.C) |
NPN型フォトリレー出力 コネクタ2ピン:NO 最大電流 : 100 mA 印加電圧 : 30 V DC 以下 |
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放電停止入力 (HV-OFF) |
放電停止:0Vと短絡(luò) 放電許可:開放 (殘留電圧:0.5V以下) |
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| 本體寸法 | 86.5×18×50 mm(W×H×D)突起部含まず | ||
| 本體重量 | 78g | ||
| 付屬品 | 取扱説明書、電源?信號(hào)ケーブル(2.5m) (ノズルは別売り) | ||
| オプション:通常ノズル | OZ-S、OZ-60S、OZ-C100~C500、OZ-TT、OZ-100B~300B、OZ-100BLF~200BLF、OZ-PSP120、OZ-F | ||
| オプション:N2対応ノズル | OZ-N-S、OZ-N-C100~C500、OZ-N-TT、OZ-N-ST | ||
| オプション:その他 |
交換用放電針 DN-W25(5本組) ACアダプタ(アース線付き) OZⅢ-24V ACアダプタ(信號(hào)線付き) OZⅢ-24VA ZappⅢコントローラ OZⅢ-CB、OZⅢ-CB-TV6 ZappⅢ-ZappⅡ用変換ケーブル(長(zhǎng)さ150mm) OZⅢ-HCB-01 |
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*1 距離50mm 工場(chǎng)出荷時(shí) ノズルOZ-S使用した場(chǎng)合です。
*2 供給エアはクリーンかつドライなものをご使用ください。
また、イオナイザの電源はONになっている狀態(tài)では、必ずエアが供給された狀態(tài)でご使用ください。(エア型全機(jī)種)
*3 工場(chǎng)出荷時(shí)は、約320?/min(0.5MPa)となるように調(diào)整しています。
| OZ-S | 0.05~0.60 MPa |
| OZⅡ-90S | 0.05~0.60 MPa |
| OZ-C100~C500 | 0.05~0.50 MPa |
| OZ-100B~300B | 0.05~0.60 MPa |
| OZ-TT | 0.05~0.50 MPa |
| OZ-F | 0.05~0.60 MPa |
| OZ-60SⅡ | 0.05~0.60 MPa |
| OZ Ⅱ-SC | 0.05~0.60 MPa |
| OZ-PSP120 | 0.05~0.50 MPa |
| OZ-100BLF~200BLF | 0.05~0.60 MPa |
| OZ-ST | 0.05~0.30 MPa |
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