壓電納米定位臺

壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅動源，結合柔性鉸鏈機構實現X/Z/XY/XZ/XYZ軸精密運動的壓電平臺。
運動范圍可達375μm，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現納米級分辨率及定位精度且具有極高的可靠性，壓電納米定位臺在精密定位領域中發揮著至關重要的作用。

壓電納米定位臺性能

·超高分辨率

壓電納米定位臺采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，可實現亞納米級分辨率。
芯明天N60.X系列壓電納米定位臺，配套E53系列壓電控制，可實現0.5nm的步進分辨率。

·大出力

芯明天快速刀具定位臺采用大出力壓電陶瓷，出力可達幾千牛頓，廣泛應用于精密加工等領域。

·快速響應

壓電納米定位臺由容性壓電陶瓷驅動，響應時間可快至毫秒級。
芯明天N65系列納米定位臺配套大功率E00/E01系列壓電控制器，可實現滿幅值階躍時間為1.5ms。

·無磨損

平臺采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點。

·電壓驅動

芯明天壓電納米定位產品標準驅動電壓為0~120/150V，可產生375μm位移行程。
同時可以根據要求定制其他電壓驅動版本。

驅動控制系統

芯明天壓電陶瓷控制器通過模擬輸入或數字輸入控制，具有功率放大功能，且輸出電壓、輸出頻率可調。
多種通道數及功能可選，可驅動各種壓電類產品，同時也可根據應用需求提供定制服務。

http://www.nators.net/Products-36972080.html

https://www.chem17.com/st519176/product_36972080.html