KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380用于制備超薄 TEM 樣品

產(chǎn)品價(jià)格：	13/人民幣
最后更新：	2020-10-26 13:37:54
產(chǎn)品產(chǎn)地：	美國(guó)
發(fā)貨地：	本地至全國(guó) (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長(zhǎng)期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	108

公司基本資料信息

伯東企業(yè)(上海)有限公司
羅先生
會(huì)員[試用會(huì)員產(chǎn)品]
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產(chǎn)品詳細(xì)說明

普通傳統(tǒng)的制樣減薄方法存在遠(yuǎn)端的薄區(qū)極易彎曲和薄區(qū)厚度不均勻的問題, 因此某機(jī)構(gòu)采用伯東KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 通過交叉減薄的方法制備超薄 TEM 樣品.

交叉減薄

交叉減薄的過程利用 TEM 樣品臺(tái)的旋轉(zhuǎn)來(lái)完成, 如下圖.

TEM 樣品臺(tái)模型圖

伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù):

射頻離子源型號(hào)	RFICP 380
Discharge 陽(yáng)極	射頻 RFICP
離子束流	>1500 mA
離子動(dòng)能	100-1200 V
柵極直徑	30 cm Φ
離子束	聚焦
流量	15-50 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長(zhǎng)度	39 cm
直徑	59 cm
中和器	LFN 2000

推薦理由:

使用 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 可以準(zhǔn)確、靈活地對(duì)樣品選定的區(qū)域進(jìn)行刻蝕、沉積和減薄.

運(yùn)行結(jié)果:

1. 通過利用 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 和樣品臺(tái)交叉減薄得到的薄區(qū)非常均勻, 邊緣整齊. 相比較傳統(tǒng)減薄方法, 交叉減薄避免了樣品在傾斜52°和56°減薄時(shí)出現(xiàn)的邊緣收縮問題和遠(yuǎn)端薄區(qū)彎曲問題.

2. 對(duì)于復(fù)合材料大大降低了位于兩相界面處薄區(qū)的厚度, 提高了樣品質(zhì)量, 提高了制樣的成功率和效率.

伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

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