產(chǎn)品特點1.該設備生長溫度更低2.使用滑軌爐實現(xiàn)快速升溫和降溫，沉積速率快3.設備輝光均勻等效，均勻生長，成膜質(zhì)量好4.支持外部真空規(guī)和壓力變送器5.支持智能進氣，根據(jù)需要設定不同的溫度，自動進氣，進氣定時間到后自動停止進氣6.支持云端數(shù)據(jù)存儲，隨時查看數(shù)據(jù)7.支持爐膛移動速度調(diào)節(jié)8.支持射頻電源根據(jù)外部工況條件自動啟動停止9.支持壓力恒定，壓力可以設定10.支持c壓保護，大壓力值可以設定，c過后系統(tǒng)自動進入保護
