催化燃燒設備的處理有許多對策，包括除根、中間操作和末端處理。目前，在我國，以尾端改造為主。末端修理的技術性質一般分為破壞性解決和獲取性解決。破壞性解決方案主要有催化燃燒裝置法和集中焚燒處理法。回收包括吸收、冷凝、吸附和膜分離。回收處理技術不成熟，成本高，尚未大規模應用。焚燒法是將揮發性有機物直接引入焚燒爐，在焚燒爐內充分燃燒產生二氧化碳和水。該方法成本低，適用范圍廣，技術路線成熟。催化燃燒法是在廢氣燃燒過程中加入相應量的催化劑，降低揮發性有機物的燃點，使揮發性有機物充分燃燒產生二氧化碳和水，實現直接排放。目前常用的催化劑有銅、鐵、鈦等非貴金屬，以及鈀、金、鉑等貴金屬。焚燒法和催化燃燒法在揮發性有機物的處理中占據著核心地位，由于其分解氧化和處理效率高而得到應用。其中催化燃燒法由于無明火、節能、氧化溫度低而被采用。
催化燃燒設備裝置是一種涉及氣固兩相的化學變化。其基本原理是在臭氧標準下進行深層氧化還原反應。在整個反應過程中，加入金屬催化劑可以顯著降低反應所需的活化能。揮發性有機化合物（VOCs）在金屬催化劑表面被生物富集，在較低的點火溫度下產生無焰點火，溶解于二氧化碳和水，釋放大量熱量。
在催化劑的作用下，VOCs在較低溫度下充分燃燒生成二氧化碳和水，去除率高達90%。催化燃燒具有能耗低、運行可靠穩定、無二次污染等優點。它已在歐洲和美洲得到應用。催化燃燒設備法是解決VOCs的關鍵方法，其應用占55%左右。目前，催化燃燒設備法已成為解決VOCs的主流產品。
