ATL Lasertechnik紫外線光源ATLEX-S

天津瑞利光電科技有限公司優勢經銷德國ATL Lasertechnik紫外線光源ATLEX-S

產品型號：ATLEX-S

關鍵字：ATL Lasertechnik紫外線光源ATLEX-S

關鍵字描述：ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比S應用而設計。

產品介紹：

超緊湊的尺寸

軟電暈預電離

高壓固態脈沖發生器

激光頭體積<3l

TMC（全金屬陶瓷）容器

集成真空泵和鹵素過濾器

完全風冷，主動熱管理

RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統集成

可沖洗光學支架

能量穩定模式

ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比S應用而設計。

參數：

氣體介質 ArF KrF

波長 nm??? 193 248

高壓開關技術 固態開關 固態開關

重復率max. Hz 300 500 300 500

脈沖能量max. mJ? 10? 10? 15? 15

平均功率max. W?? 2.4 4?? 4?? 6

脈沖持續時間 ns?? 5-8

光束尺寸（V x H） mm 4 x 6

光束發散角（V x H）mrad? 1 x 2

能量穩定性（標準偏差）%? < 3

尺寸（長x寬x高）mm 630 x 400 x 300

重量 kg??? 65

冷卻 空氣

電源要求 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz

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