德國Cyber Technologies輪廓儀CT 300

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產(chǎn)品型號：CT 300

關鍵字：Cyber Technologies輪廓儀CT 300

關鍵字描述：CT 300是一種非接觸輪廓儀，具有315 mm的x，y運動系統(tǒng)。

產(chǎn)品介紹：

快速，精確，準確地測量小樣本和大樣本

315毫米x 315毫米大掃描區(qū)域

用戶友好的概念

復雜的分析和自動化軟件

CT 300是一種非接觸輪廓儀，具有315 mm的x，y運動系統(tǒng)。它可以處理12英寸的晶圓或其他大型基板和零件。使用彩色白光傳感器和高達20 kHz的數(shù)據(jù)采集速率，可以將檢查時間減至少。共聚焦顯微鏡和3D白光干涉儀傳感器在低至0.1 nm的z方向上提供了 分辨率。利用多傳感器技術，可以同時安裝多個傳感器頭，包括用于測量晶圓厚度的紅外干涉儀。

典型的應用是印刷過程的分析和質(zhì)量控制，例如PV太陽能電池，基板材料的進料檢查，各種基板上的厚膜測量，漿料倉庫，環(huán)氧膜，點或其他印刷和印刷的體積測量。分配的功能。 高輪廓物體的幾何形狀和位置測量（如焊料凸塊，微透鏡和MEMS器件）以及平面度和共面性分析是其他受歡迎的應用。由于CT 300在整個行程中保持高精度，因此可以快速而 地檢查較大的零件，例如晶片，墊片或玻璃鏡片。

參數(shù)：

系統(tǒng)控制器：包括運動控制，傳感器控制器（2 kHz），電源，工作站的USB接口

工作站電腦：查詢當前規(guī)格，22英寸寬屏顯示器

連接：以太網(wǎng)，DVD驅(qū)動器，USB（正面和背面），并行端口，鍵盤，鼠標，DVI和模擬視頻輸出

電源要求：100-240V AC，50-60 Hz，2安培（240 V），5安培（100 V）

工作溫度：20°-30°C（68–86 F）

測量表面尺寸：400 x 400 [mm]（16 x 16 [in]）

線性編碼器分辨率：0.05μm（2μin）

橫向分辨率：min.1微米

X和Y的行程限制（電動）：315 x 315 [mm]（12 x 12 [in]）

Z的行程限制（手動）：50 mm（2in）（可調(diào)節(jié)至100 mm）

機動化的Z軸行程：100 mm，分辨率0.1 μm

平臺上的負載：max.10 kg

可用的傳感器：

共焦白光傳感器

共焦激光傳感器

激光三角測量傳感器

干涉儀（白光和紅外）

尺寸（長X寬X高）：900 x 1040 x 1600 [mm]

站立式工作站（35 x 41 x 63 [in]）

重量：400 kg (880 lbs)

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