低溫等離子技術
當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，以達到降解污染物的目的。有機化合物最終產物為CO2、CO和H2O。若有機物是氯代物，則產物應加上氯化物，而無中間副產物。降低了有機物的毒性，同時避免了其他方法中的后期處理問題。
低溫等離子體主要是由氣體放電產生的，所謂氣體放電是指，通過某種機制使一個或幾個電子從氣體原子或分子中電離出來，形成的氣體媒質稱為電離氣體，如果電離氣體由外電場產生并形成傳導電流，這種現象稱為氣體放電。放電方式可分為輝光放電（Glowdischarge）、電暈放電（Coronadischarge）、介質阻擋放電（Dielectricbarrierdischarge，DBD）、射頻放電（Radiofrequencydischarge）及微波放電（Microwavedischarge）等。輝光放電通常在低氣壓下進行，所需的放電電壓較低、電子的能量也較低；電暈放電可在常壓下進行，但能量過于集中，很難獲得大體積的等離子體；介質阻擋放電則結合了前兩者的優點，可以在常壓下產生大面積的低溫等離子體；射頻放電和微波放電常用于無電極放電，可獲得純凈的等離子體。工業上使用的主要是電暈放電和介質阻擋放電（用于廢氣中難降解物質的去除）兩種。
低溫等離子體技術處理有機廢氣具有以下優點：
①能耗低，可在室溫下與催化劑反應，無需加熱；
②使用便利，設計時可以根據風量變化以及現場條件進行調節；
③不產生放射物；
④尤其適于處理有氣味及低濃度大風量的氣體。
缺點：
①對水蒸氣比較敏感，當水蒸氣含量高于5％時處理效率及效果將受到影響；
②初始設備投資較高。
