UV光氧催化氧化設備利用人工紫外線光波作為能源，配合活性強、反應效率高的納米TiO2催化劑，可有效凈化廢臭氣體。該設備通過光催化氧化，能將各種有機廢氣如醛類、苯類、氨類、氮氧化物、硫化物以及其他VOC類有機物及無機物還原成二氧化碳、水及其他無毒無害物質。同時還可以實現廢氣除臭和細菌病毒的去除。
UV光氧催化氧化設備具有以下優點：
（1）無需添加任何物質：只需要設置相應的排風管道和排風動力，使惡臭氣體通過本設備進行脫臭分解凈化，無需添加任何物質參與化學反應。
（2）適應性強：可適應高濃度，大氣量，不同惡臭氣體物質的脫臭凈化處理，可每天24小時連續工作，運行穩定可靠。
（3）運行成本低：只需作定期檢查，能耗低，風阻極低＜50pa，可節約大量排風動力。
UV光氧催化處理效果容易受到以下因素影響：
1.光源
真空紫外燈一般選用185nm和254nm這兩個波段。真空紫外設備的進口風速影響紫外燈的燈表溫度，燈表溫度與紫外燈的發光效率直接相關，當燈表溫度高于一定值時，對其發光效率有直接影響。對于許多有機廢氣來說，臭氧協同真空紫外光對其具有降解作用。254nm紫外光可以促進臭氧產生氧氣自由基，進而氧化廢氣分子，臭氧與空氣中的水蒸氣在真空紫外條件下可產生羥基自由基,羥基自由基又可氧化甲苯等廢氣。
2.廢氣濃度
噴涂車間、印刷、電子、制藥、食品等行業產生的低濃度有機廢氣都是UV光氧催化氧化技術處理VOCs的適用范圍。目前，由于真空紫外線強度有限，185nm和254nm的真空紫外燈在單位時間內的光解能量不足，效率隨之降低。高濃度有機氣體的問題不能僅僅通過增加燈管的數量來解決，紫外光解技術不適用于中高濃度VOCs氣體。
3.相對濕度
在一定的濕度條件下，氧氣吸收了大部分185nm的紫外線，但隨著濕度的進一步增加，水蒸氣和氧氣競相吸收了185nm波長的紫外線，水蒸氣吸收了更多的185nm的紫外線，產生了更多的羥基自由基。水蒸氣與活性氧反應產生羥基自由基。與臭氧和活性氧相比，羥基自由基具有更強的氧化作用，因此光解速度明顯加快，有效提高了單位時間內的廢氣去除率。光解效率提高只維持在相對濕度在30%-65%以內，當相對濕度在70%以上后光解效率會逐漸降低。
