低溫等離子光氧一體機工藝流程：
收集有機廢氣→環壓式管道→高速水離→水離子氣泡氧離子工業堿→高壓靜電（去除PN2.5微科粒物）→干凈氣體排
低溫等離子光氧一體機工作原理：
利用水分子以2700—5500M/秒高速運動，互相碰撞，捕獲煙氣和空氣中的微顆粒，再利用阿基米德螺旋線高速運動以產生很強一個漩渦，強迫微顆粒進入漩渦的底部，在底部高速運運動，將分離出干凈的空氣，將污染物的微粒物沉淀在液體中，并且久而久之使沉淀后液體變成一處帶占性的吸收液體，使水離子化，同時讓氣泡在外力的作用下捕獲煙氣和空氣中揮發性的微分子有害氣體，讓本身不溶于水的各中廢氣捕獲加藥劑分解的方式處理干凈，以達廢氣處理目的，氣體分子如：惡臭氣體、瀝青煙氣、金屬粉塵、鍋爐煙氣、纖維分子、噴涂廢氣、噴漆廢氣、橡膠煙氣、塑料煙氣、餐飲廚房煙氣、電鍍煙氣、鋁煙、鋅煙、錫煙以及種垃圾焚燒煙均可處理干凈。
光氧設備和等離子除臭設備的區別
一、原理不同
UV光解利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體改變惡臭氣體的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等
低溫等離子是繼固態、液態、氣態之后的物質*四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體分子被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污
染物分子在*短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的
二、主體設備配置不同
UV光解設備內部組成主要由德國技術紫外燈管、與光催化活性纖維過濾層組成離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。
等離子凈化器設備是由電源和齒板放電裝置，使其產生高強度、高濃度、高電能的活性自由基，在毫秒級的時間內，瞬間對有害廢氣分子進行氧化還原反應，將廢氣中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易處理的物質
三、去除能力不同
UV光解是光束裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸，再通過臭氧進行氧化反應，
達到脫臭及殺滅的目的．
等離子凈化器利用催化氧化劑的強氧化性和高吸附性，持續地對等離子體未處理盡的污染物和生成的物質進行催化氧化反應，使有害廢氣經多級凈化后嘴終達標排放
