●在局域網上可被遠程訪問
●大屏幕液晶顯示
●用閃存增強數據存儲性能
●優化的設計加強了電路的通用性和集成性
●易于維護的內部布局
●配有質量流量稀釋系統
●配有產生O3和NO2的氣相滴定裝置
●可配產生SO2、NO2、H2S、NH3等氣體的滲透爐
流量測量準確度
±2%讀數或1%的滿度值，以較低者為準（
20%至100%滿度值）
流量測量線性
0.5%滿度值
流量測量重復性
±2%讀數或1%的滿度值，以較低者為準（
20%至100%滿度值）
零氣流量
5或10（準標）或20slm
標氣流量
50或100（標準）或200sccm
滲透爐溫度
30或35或45℃±0.1℃
臭氧源速出濃度
6ppm-liters（穩定性和重復性滿足或超過U.S.EPA的要求）
