HatPlant 電鏡消磁系統(tǒng)

產(chǎn)品背景：

      當(dāng)今的高性能電子束相關(guān)的設(shè)備對(duì)變化的環(huán)境磁場(chǎng)非常敏-感，比如離子束3D打印設(shè)備、電子顯微鏡、半導(dǎo)體光刻機(jī)、等離子切割機(jī)。當(dāng)環(huán)境磁場(chǎng)發(fā)生變化時(shí)，電鏡中的電子束會(huì)偏轉(zhuǎn)，從而導(dǎo)致打印歪曲偏離、電子顯微鏡分辨率下降和圖像失真。HSR2iX系列磁場(chǎng)消除系統(tǒng)通過動(dòng)態(tài)創(chuàng)建幾乎相等且方向相反的磁場(chǎng)來穩(wěn)定電子束相關(guān)的設(shè)備周圍的環(huán)境磁場(chǎng)，改善各種電子束、離子束設(shè)備周圍惡劣的磁場(chǎng)環(huán)境，保障設(shè)備使用的磁場(chǎng)環(huán)境要求。

產(chǎn)品介紹：

HSR2iX系列磁場(chǎng)消除系統(tǒng)由磁傳感器感知單元、磁場(chǎng)發(fā)生單元、磁場(chǎng)控制單元、顯控單元等構(gòu)成。綜合了低噪聲磁敏-感技術(shù)、消磁線圈優(yōu)化設(shè)計(jì)技術(shù)、磁場(chǎng)自動(dòng)控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)寬頻帶雜散磁場(chǎng)的自動(dòng)跟蹤補(bǔ)償，達(dá)到穩(wěn)定磁場(chǎng)的目的。

根據(jù)具體用途，HSR2iX系列磁場(chǎng)消除系統(tǒng)具有三種不同型號(hào)：HSR2i01、HSR2i02和HSR2i03。（特殊情況可定制）

工作原理：

通過三分量磁場(chǎng)傳感器實(shí)現(xiàn)雜散磁場(chǎng)的感知，并將感知到的信號(hào)送入智能磁場(chǎng)控制單元；智能磁場(chǎng)控制單元實(shí)時(shí)產(chǎn)生一個(gè)電流信號(hào)，該電流通過磁場(chǎng)產(chǎn)生單元產(chǎn)生與雜散磁場(chǎng)方向相反、大小相等的磁場(chǎng)，在工作區(qū)實(shí)現(xiàn)了磁場(chǎng)的疊加從而得到穩(wěn)定的磁場(chǎng)環(huán)境。

典型應(yīng)用：

1. 生命科學(xué)領(lǐng)域的冷凍電鏡

冷凍電鏡可以直接觀測(cè)蛋白質(zhì)分子、生物病毒（埃博拉病毒、非典病毒）的結(jié)構(gòu)，但是冷凍電鏡極易受到磁場(chǎng)、震動(dòng)的影響；磁場(chǎng)影響主要來自大型用電設(shè)備、輸電線路、軌道交通等。

2. 材料科學(xué)領(lǐng)域的掃描電鏡

掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產(chǎn)生過程，可以觀察金屬材料內(nèi)部原子的集結(jié)方式和它們的真實(shí)邊界，可以觀察在不同條件下邊界移動(dòng)的方式，可以檢查晶體在表面機(jī)械加工中引起的損傷和輻射損傷等；但是掃描電鏡容易受到磁場(chǎng)波動(dòng)的影響而導(dǎo)致圖像出現(xiàn)條紋。

3. 化工領(lǐng)域中的原理分析用電鏡

電鏡可以用來觀測(cè)催化劑的表面重構(gòu)，深入研究反應(yīng)機(jī)理，但是磁場(chǎng)干擾尤其是交流磁場(chǎng)干擾會(huì)使得球差矯正透鏡的圖像模糊、扭曲。

4. 半導(dǎo)體工藝中的缺陷分析用電鏡

硅片表面玷污是影響微電子器件質(zhì)量的嚴(yán)重問題。掃描電鏡可以檢查和鑒定硅片表面玷污的種類、來源。用掃描電鏡還可以檢查硅片表面殘留的涂層或均勻薄膜、可以顯示其微觀結(jié)構(gòu)。

5. 納米制造領(lǐng)域的加工精度保證

納米科技的發(fā)展帶領(lǐng)納米尺度制造業(yè)的迅速發(fā)展，納米加工就是納米制造業(yè)的核心部分，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發(fā)展起來的聚焦離子束（FIB）技術(shù)利用高強(qiáng)度聚焦離子束對(duì)材料進(jìn)行納米加工，成為了納米級(jí)分析、制造的主要方法。但是離子束極易受到磁場(chǎng)的影響，無論是恒定磁場(chǎng)還是變化的磁場(chǎng)均會(huì)使得加工精度受到影響。