3d光學干涉輪廓儀，一鍵測量微納米三維形貌

信息化時代下，測量技術是科學技術發展和國民經濟提高的關鍵與基礎，尤其是測量型儀器儀表，可以說是信息產業的源頭和重要組成部分?，F代化工業數字化測量要求高精度化、低成本和小型化，因為諸如汽車發動機等均要求其組成零部件必須具有非常高的精度，以便減少噪聲、防止環境污染和節省能耗，這些都是時代對制造業提出的緊迫要求。目前在3D檢測領域中，在同等系統放大倍率下，3d光學干涉輪廓儀的檢測精度和重復精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，是高精度的檢測儀器之一，在一些納米級和亞納米級的超精密加工領域，除了表面形貌干涉儀，其他儀器都沒有辦法達到其測量精度要求。

白光干涉原理

中圖儀器研發生產的SuperView W1 3d光學干涉輪廓儀讓輪廓測量價格更為實惠，分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，應用領域廣泛，操作簡便。

產品參數

技術指標

測量應用
以測量單刻線臺階為例：

1、在檢查儀器的各線路接頭都準確插到對應插孔后，開啟儀器電源開關，啟動計算機，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調整載物臺大概位置，對準白光干涉儀目鏡的下方。
2、在計算機上打開測量軟件，在軟件界面上設置好目鏡下行點，再微調鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離，調整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時設置好要掃描的距離。

3、按開始按鈕，儀器可自動進行掃描測量，測量完成后，轉件自動生成3D圖像，測量人員可以對3D圖像進行數據分析，獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數。

標準配置

SuperView W1 3d光學干涉輪廓儀具有測量精度高、功能全、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。