光氧催化設備主要利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S,VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物的分子鏈在高能紫外線的光束的照射下降解轉變成低分子化合物，如CO2和H2O等。
利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子及水分子產生游離氧(活性氧)和OH自由基，因游離氧和所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2---O_+O*(活性氧)+O2---O3(臭氧)，眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對工業廢氣及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。
廢氣處理設備使用說明:光氧催化廢氣凈化器
1、在使用過程中，應及時檢查吸收液中酸堿濃度，當發現酸性濃度過高時應該及時更換吸收液。
2、廢氣處理設備周圍應保持干凈衛生。
3、需經常檢查吸收塔中噴淋是否堵塞，如果堵塞應及時清理，或對塔內進行清洗。
4、凈化塔中的吸收液是通過加液箱進行添加，液位因與進葉口水平，設備運行后，這時會有一部分液體進入循環系統中，再次添加液體使得與進液口水平;在使用過程中應觀察吸收液使用情況，當發現消耗多時要及時添加，吸收液應每8小時進行一次檢查，而且缺少時要及時添加。
5、設備停止運行時，首先停鼓風機1-2分鐘后，再停循環水泵。使用時應先開循環水泵2-3分鐘，再開鼓風機。
