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平面正交光柵(GGET),既可以檢測圓軌跡又可以檢測直線軌跡或不規則的異形平面運動哈默納科直線模組諧波SHG-25-80-2SO。Wei Gao等用光電自準直儀檢測主軸偏角的誤差,用電容位移測頭測出了主軸的軸向跳動誤差,用直尺和電容位移測頭結合檢測出了導軌的直線度誤差。用于直線運動軌跡檢測的儀器,目前比較常用的有雙頻激光干涉儀和激光跟蹤儀。哈默納科直線模組諧波SHG-25-80-2SO上海交通大學與美國光動公司合作,基于激光多普勒位移測量儀提出了一種沿體對角的機床空間幾何誤差的激光矢量測量方法,通過分步測量機床工作空間的4條體角線,并哈默納科直線模組諧波SHG-25-80-2SO結合空間誤差綜合模型快速分離機床的19項誤差。該方法通過添加3個面上的6條對角線,可以實現分離出機床的21項幾何誤差。