半導體加成工藝專用諧波減速機CSD-14-50-2UH

硅片是一種硅材料通過加工切成一片一片的。硅是一種硬度很高的物質(zhì)，硅材料看起來像石頭一樣，他要經(jīng)過清洗干凈然后用爐子加熱融化形成一個大塊的硅錠，然后再用特定機器來進行細切成一片一片。

半導體加成工藝專用諧波減速機CSD-14-50-2UH主要工藝過程:多晶硅--區(qū)熔或直拉--單晶硅棒--滾、切、磨、拋--硅片

硅晶圓silicon wafer) 是一切集成電路芯片的制作母材。既然說到晶體，顯然是經(jīng)過純煉與

結(jié)晶的程序。晶體化的制程，大多是采用「柴可拉斯基」

(Czycrasky) 拉晶法(CZ法)。拉晶時，將特定晶向(orientation) 的晶種(seed)，浸入過飽和的純硅熔湯(Melt) 中，并同時旋轉(zhuǎn)拉出，硅原子便依照晶種晶向，乖乖地一層層成長上去，而得出所謂的晶棒(ingot)晶棒

的阻值如果太低，代表其中導電雜質(zhì) (impurity dopant) 太多，還需經(jīng)過FZ法 (floating-zone) 的再結(jié)晶 (re-crystallization)，將雜質(zhì)逐出，提高純度與阻值。

輔拉出的晶棒，外緣像椰子樹干般，外徑不甚一致，需予以機械加工修邊，然后以X光繞射法，定出主切面 (primary flat) 的所在，磨出該平面;再以內(nèi)刃環(huán)鋸，削下一片片的硅晶圓。最后經(jīng)過粗磨 (lapping)、化學蝕平(chemical etching) 與拋光(polishing) 等程序，得出具表面粗糙度在0.3微米以下拋光面之晶圓。(至于晶圓厚度，與其外徑有關(guān)。) 剛才題及的晶向，與硅晶體的原子結(jié)構(gòu)有關(guān)。硅晶體結(jié)構(gòu)是所謂「鉆石結(jié)構(gòu)」(diamond-structure)，系由兩組面心結(jié)構(gòu) (FCC)，相距(1/4,1/4,1/4) 晶格常數(shù) (lattice constant;即立方晶格邊長) 疊合而成。我們依米勒指針法 (Miller index)，可定義出諸如:{100}、{111}、{110} 等晶面。所以晶圓也因之有 {100}、{111}、{110}等之分野。有關(guān)常用硅晶圓之切邊方向等信息，請參考圖2-2?，F(xiàn)今半導體業(yè)所使用之硅晶圓，大多以 {100} 硅晶圓為主。其可依導電雜質(zhì)之種類，再分為p型 (周期表III族) 與n型 (周期表V族)。半導體加成工藝專用諧波減速機CSD-14-50-2UH由于硅晶外貌完全相同，晶圓制造廠因此在制作過程中，加工了供辨識的記號:亦即以是否有次要切面 (secondary flat) 來分辨。該次切面與主切面垂直，p型晶圓有之，而n型則闕如。 {100}硅晶圓循平行或垂直主切面方向而斷裂整齊的特性，所以很容易切成矩形碎塊，這是早期晶圓切割時，可用刮晶機 (scriber) 的原因 (它并無真正切斷芯片，而只在表面刮出裂痕，再加以外力而整齊斷開之。)事實上，硅晶的自然斷裂面是{111}，所以雖然得到矩形的碎芯片，但斷裂面卻不與{100}晶面垂直! 以下是訂購硅晶圓時，所需說明的規(guī)格:項目說明 晶面 {100}、{111}、{110} ± 1o 外徑(吋) 3 4 5 6 厚度(微米) 300~450 450~600 550~650 600~750(±25) 雜質(zhì) p型、n型 阻值(Ω-cm) 0.01 (低阻值) ~ 100 (高阻值) 制作方式 CZ、FZ (高阻值) 拋光面單面、雙面 平坦度(埃) 300 ~ 3,000 北京特博萬德科技有限公司

本教材的編寫簡化了深奧的理論論述，半導體加成工藝專用諧波減速機CSD-14-50-2UH在對基本原理介紹的基礎(chǔ)上注重對工藝過程、工藝參數(shù)的描述以及工藝參數(shù)測量方法的介紹，并在半導體制造的幾大工藝技術(shù)章節(jié)中加入了工藝模擬的內(nèi)容，彌補了實踐課程由于昂貴的設(shè)備及過高的實踐費用而無法進行實踐教學的缺憾。在教材編寫過程中，從半導體生產(chǎn)企業(yè)獲得了大量的工藝設(shè)備、工藝過程及工藝參數(shù)方面的素材對教材進行了充實。

本教材根據(jù)集成電路的發(fā)展趨勢，主要介紹了集成電路工藝的前端部分，即清洗、氧化、化學氣相淀積、金屬化、光刻、刻蝕、摻雜和平坦化等幾個主要工藝，具體每一道工藝中都詳細講述了工藝的基本原理、工藝的操作過程和工藝對應(yīng)的設(shè)備，并加入了部分工藝模擬的操作，力求把當前比較新的工藝介紹給讀者。

本教材主要供高等院校微電子相關(guān)專業(yè)的高年級本科生或大專生習，也可以作為從事集成電路工藝工作的工程技術(shù)人員自學或進修的參考書。

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