氣體傳感器介紹
溫度對傳感器靈敏度有影響。下左為SnO2氣敏器件對氣體溫度電阻特性曲線。由可見，器件在不同溫度下對氣體靈敏度不同，利用這一特性識別氣體。
制備工藝對SnO2氣敏特性也有很大影響。如在SnO2中添加ThO2，改變燒結溫度和加熱溫度就產生不同氣敏效應。
氣體傳感器種類
非電阻型也是一類較為常見半導體氣敏器件，這類器件方便，無需設置溫度，易于集成，得到廣泛。有結型和MOSFET型兩種。
結型氣敏傳感器件又稱氣敏二極管，這類氣敏器件是利用氣體改變二極管整流特性來。其如下左所示。它是：Pd對氫氣具有性，它與半導體接觸形成接觸勢壘。當二極管加正向偏壓時，從半導體流向金屬電子將增加，因此正向是導通。
氣體傳感器描述
氣敏二極管特性曲線左移看作二極管導通電壓發生改變，這一特性如果發生在場效應管柵極，將使場效應管閾值電壓UT改變。利用這一制成MOSFET型氣敏器件。
氫氣敏MOSFET是典型氣敏器件，它用金屬鈀Pd制成鈀柵。在含有氫氣氣氛中，由于鈀催，氫氣分子成氫原子擴散到鈀與二氧硅界面，終導致MOSFET閾值電壓UT發生變。時常將柵漏短接，MOSFET在飽和區，此時漏極電流ID=βUGS—UT2，利用這一電路測出氫氣濃度。
