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氣體傳感器是氣體檢測系統的核心,通常裝在探頭上,實質上,氣體傳感器是將氣體體積分數轉換成相應的電信號的轉換器,探頭通過氣體傳感器進行調制,通常包括過濾雜質和干擾氣體、干燥或冷卻、采樣甚至學處理,以便更快地測量學傳感器。
半導體材料氣體傳感器可分成電阻器型和非電阻器型(結型、MOSFET型、電容器型)。電阻器型氣敏元器件的基本原理是汽體分子結構造成比較敏感原材料電阻器的轉變;非電阻器型氣敏元器件關鍵有M()s二極管和結型二極管及其場效應管(M()SFET),它運用了比較敏感汽體會更改MOSFET打開工作電壓的基本原理,其基本原理構造與ISFET電離敏控制器件同樣。
SnO2電阻型氣敏器件通常采用燒結工藝。 以多孔SnO2陶瓷為基材,再添加不同物質,用陶藝燒結,燒結時嵌入加熱電阻線和測量電極。 另外,還有通過蒸發和濺射等工藝制作的薄膜器件和多層膜器件,這種器件靈敏度高,動態特性好。
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