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工作溫度對傳感器靈敏度有影響,下圖左圖為sno2氣體傳感器對不同氣體溫度的電阻特性曲線,表明該裝置在不同溫度下對不同氣體的靈敏度不同,可以識別氣體類型,制備過程對sno2氣體靈敏度有很大影響。
按品質(zhì)測算,在SnO2中添加3~5%的ThO2,5%的Sm2.在600℃的H2氛圍中煅燒,做成厚膜元器件,操作溫度為400℃。則可做為CO檢驗元器件。圖中下圖是煅燒溫度為600℃時氣敏元器件的特點。可看得出,操作溫度在170~200℃范圍之內(nèi),對H2的敏感度曲線圖呈雙曲線,而對CO更改操作溫度則危害并不大,因而,利用器件這一特性可以檢測H2。而燒結(jié)溫度為400℃制成的器件,工作溫度為200℃時,對H2、CO的靈敏度曲線形狀都近似呈直線,但對CO的靈敏度要高得多,可以制成對CO敏感的氣體傳感器。
非電阻型也是比較常見的半導(dǎo)體氣敏設(shè)備,這種設(shè)備易于使用,無需設(shè)置工作溫度,易于集成,得到廣泛應(yīng)用。 主要有結(jié)型和MOSFET型兩種。 結(jié)型氣體傳感器裝置也稱為氣體傳感器二極管,這種氣體傳感器裝置利用氣體改變二極管的整流特性而工作。 其結(jié)構(gòu)如下圖左圖所示。 Pd對氫有選擇性,與半導(dǎo)體接觸成接觸勢壘。當(dāng)二極管加正向偏壓時,從半導(dǎo)體流向金屬的電子將增加,因此正向是導(dǎo)通的。
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