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SnO2薄膜氣敏元件具有良好的穩定性、能在低溫下工作、檢測氣體種類多、工藝成熟等優點,是目前的主流產品。 另外,Fe2O3也是目前廣泛應用研究的材料。 除傳統的SnO、SnO2和Fe2O3三種材料外,目前還在研究開發包括單一金屬氧物材料、復合金屬氧物材料、混合金屬氧物材料在內的新材料。這些新型材料的研究和開發,大大提高了氣體傳感器的特性和應用范圍。
可選擇性是氣體傳感器的重要特性。如SnO2塑料薄膜對多種多樣汽體都比較敏感,怎樣提升SnO2氣敏元器件的可選擇性和敏感度一直是科學研究的重中之重。關鍵對策有:在常規原材料中添加不一樣的貴重金屬或氫氧物金屬催劑,設定適合的操作溫度,運用凈設備或透氣膜外過慮比較敏感汽體。
非電阻器型都是一類比較普遍的半導體材料氣敏元器件,這種元器件方便使用,不用設定操作溫度,便于一體,獲得了廣泛運用。關鍵有結型和MOSFET型二種。結型氣敏傳感器件別稱氣敏二極管,這種氣敏元器件是運用汽體更改二極管的整流器特點來工作中的。其構造以下圖左圖圖示。它的基本原理是:貴重金屬Pd對氡氣具備可選擇性,它與半導體材料觸碰形成接觸勢壘。當二極管加正向偏壓時,從半導體流向金屬的電子將增加,因此正向是導通的。