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半導(dǎo)體材料氣體傳感器可分成電阻器型和非電阻器型(結(jié)型、MOSFET型、電容器型)。電阻器型氣敏元器件的基本原理是汽體分子結(jié)構(gòu)造成比較敏感原材料電阻器的轉(zhuǎn)變;非電阻器型氣敏元器件關(guān)鍵有M()s二極管和結(jié)型二極管及其場效應(yīng)管(M()SFET),它運(yùn)用了比較敏感汽體會更改MOSFET打開工作電壓的基本原理,其基本原理構(gòu)造與ISFET電離敏控制器件同樣。
選擇性是氣體傳感器的關(guān)鍵性能。例如,SnO2薄膜對多種氣體具有敏感性,如何提高SnO2氣體傳感器的選擇性和靈敏度一直是研究的重點。主要措施是:在襯底材料中添加不同的或金屬氧物催劑,設(shè)定適當(dāng)?shù)墓ぷ鳒囟龋眠^濾設(shè)備或透過濾敏氣體。
選擇性是氣體傳感器的重要性能。 例如,SnO2薄膜對多種氣體敏感,如何提高SnO2氣敏元件的選擇性和靈敏度是研究的重點。 主要措施是在基材中加入不同的和金屬氧物催劑,設(shè)定適當(dāng)?shù)墓ぷ鳒囟龋谶^濾設(shè)備和透氣膜外過濾敏感氣體。