
氣體傳感器介紹
SnO2薄膜氣敏器件因具有良穩定性、能在較低溫度下、檢驗氣體多、工藝成熟等,是主流。此外,Fe2O3也是廣泛和材料。除傳統SnO、SnO2和Fe2O3三大類外,又一批新型材料,包括單一金屬氧物材料、復合金屬氧物材料以混合金屬氧物材料。這些新型材料和,大大提高氣體傳感器特性和。
氣體傳感器規格
溫度對傳感器靈敏度有影響。下左為SnO2氣敏器件對氣體溫度電阻特性曲線。由可見,器件在不同溫度下對氣體靈敏度不同,利用這一特性識別氣體。
制備工藝對SnO2氣敏特性也有很大影響。如在SnO2中添加ThO2,改變燒結溫度和加熱溫度就產生不同氣敏效應。
氣體傳感器種類
同體電解質在高溫下才會有明顯導電性。氧鋯ZrO2是典型氣體傳感器材料。純正氧鋯在常溫下是單斜晶,當溫度升到1000℃左右時就會發生同質異晶轉變,由單斜晶變為多晶,并伴隨體積收縮和吸熱反應,因此是。在ZrO2中摻入穩定劑如:堿土氧鈣CaO或稀土氧釔Y2O3,使其成為穩定熒石立方晶體,穩定程度與穩定劑濃度有關。