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KLA-Tencor 760-062480-00
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機械手的PLC操控系統和方位檢測設備簡介
(1)操控系統
有電氣操控和射流操控兩種,一般常見的為電氣操控。它是機械手的重要組成部分,它支配著機械手按規定的程序運動,并回憶人們給與機械手的指令信息(如動作次序、運動軌跡、運動速度及時間),一起按其操控系統的信息對執行機構宣布指令,必要時可對機械手的動作進行監視,當動作有錯誤或發生故障時即宣布報警信號。
(2)方位檢測設備
操控機械手執行機構的運動方位,并隨時將執行機構的實踐方位反饋給操控系統,并與設定的方位進行比較,然后通過操控系統進行調整,從而使執行機構以一定的進度到達設定方位。

ASML 4022.471.6651 AT
ASML 4022.472.59471
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ASML 022.436.8150
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